| 摘要 | 第3-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-19页 |
| 1.1 固体润滑材料的发展现状 | 第9页 |
| 1.2 MoS_2固体润滑材料的发展现状 | 第9-13页 |
| 1.2.1 MoS_2的结构及性能 | 第9-10页 |
| 1.2.2 纯MoS_2固体润滑薄膜的发展现状 | 第10-11页 |
| 1.2.3 MoS_2基固体润滑薄膜的发展现状 | 第11-13页 |
| 1.3 磁控溅射薄膜制备技术 | 第13-15页 |
| 1.3.1 平衡磁控溅射 | 第13-14页 |
| 1.3.2 非平衡磁控溅射 | 第14-15页 |
| 1.4 论文研究目的与意义 | 第15-16页 |
| 1.5 论文研究内容与技术路线 | 第16-19页 |
| 1.5.1 研究内容 | 第16页 |
| 1.5.2 技术路线 | 第16-19页 |
| 2 薄膜的制备及表征方法 | 第19-27页 |
| 2.1 MoS_2-Ti及MoS_2-Ti/TiN复合薄膜的制备 | 第19-21页 |
| 2.1.1 实验设备 | 第19页 |
| 2.1.2 薄膜的制备 | 第19-21页 |
| 2.2 薄膜的结构表征 | 第21-23页 |
| 2.2.1 X射线衍射(XRD)分析 | 第21-22页 |
| 2.2.2 扫描电子显微镜(SEM)分析 | 第22页 |
| 2.2.3 透射电子显微镜(TEM)分析 | 第22页 |
| 2.2.4 原子力显微镜(AFM)分析 | 第22-23页 |
| 2.2.5 X射线光电子能谱(XPS)分析 | 第23页 |
| 2.3 薄膜的性能表征 | 第23-27页 |
| 2.3.1 硬度测定 | 第23-24页 |
| 2.3.2 摩擦磨损测试 | 第24-25页 |
| 2.3.3 结合强度测试 | 第25-27页 |
| 3 负偏压对MoS_2-Ti复合薄膜的微观组织与性能影响研究 | 第27-47页 |
| 3.1 负偏压对MoS_2-Ti复合薄膜微观组织的影响 | 第27-35页 |
| 3.1.1 物相结构分析 | 第27-28页 |
| 3.1.2 表面及截面形貌分析 | 第28-31页 |
| 3.1.3 表面粗糙度分析 | 第31-32页 |
| 3.1.4 化学价键分析 | 第32-33页 |
| 3.1.5 微观组织分析 | 第33-35页 |
| 3.2 负偏压对MoS_2-Ti复合薄膜力学性能的影响 | 第35-38页 |
| 3.2.1 硬度分析 | 第35-36页 |
| 3.2.2 结合强度分析 | 第36-38页 |
| 3.3 负偏压对MoS_2-Ti复合薄膜摩擦学性能的影响 | 第38-45页 |
| 3.4 本章小结 | 第45-47页 |
| 4 MoS_2-Ti/TiN复合薄膜的微观组织与性能研究 | 第47-55页 |
| 4.1 MoS_2-Ti/TiN复合薄膜的微观组织结构 | 第47-49页 |
| 4.1.1 物相结构分析 | 第47页 |
| 4.1.2 表面及截面形貌分析 | 第47-49页 |
| 4.2 MoS_2-Ti/TiN复合薄膜的力学性能 | 第49-51页 |
| 4.2.1 硬度分析 | 第49-50页 |
| 4.2.2 结合强度分析 | 第50-51页 |
| 4.3 MoS_2-Ti/TiN复合薄膜的摩擦学性能 | 第51-54页 |
| 4.4 本章小结 | 第54-55页 |
| 5 MoS_2-Ti及MoS_2-Ti/TiN复合薄膜的硬化机制和摩擦磨损机制研究 | 第55-61页 |
| 5.1 MoS_2-Ti及MoS_2-Ti/TiN复合薄膜的硬化机制 | 第55-56页 |
| 5.2 MoS_2-Ti及MoS_2-Ti/TiN复合薄膜的摩擦磨损机制 | 第56-61页 |
| 5.2.1 负偏压对MoS_2-Ti及MoS_2-Ti/TiN复合薄膜摩擦磨损机制的影响 | 第56-57页 |
| 5.2.2 温度对MoS_2-Ti复合薄膜摩擦磨损机制的影响 | 第57-58页 |
| 5.2.3 TiN中间层对MoS_2-Ti/TiN复合薄膜摩擦磨损机制的影响 | 第58-61页 |
| 6 结论 | 第61-63页 |
| 致谢 | 第63-65页 |
| 参考文献 | 第65-68页 |
