关键几何参数变动对纳米薄膜加热器寿命的影响机理分析与试验研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-15页 |
| 1.1 课题来源 | 第8页 |
| 1.2 课题的背景及研究意义 | 第8-11页 |
| 1.3 国内外研究现状 | 第11-13页 |
| 1.4 本文研究的主要内容及采用的思路 | 第13-15页 |
| 第2章 纳米薄膜加热器的失效机理与寿命模型 | 第15-24页 |
| 2.1 纳米薄膜加热器的失效模式 | 第15-17页 |
| 2.2 纳米薄膜加热器失效的机理分析 | 第17-19页 |
| 2.2.1 电子风力 | 第17-18页 |
| 2.2.2 热迁移 | 第18页 |
| 2.2.3 应力迁移 | 第18-19页 |
| 2.2.4 化学迁移 | 第19页 |
| 2.3 纳米薄膜加热器的寿命模型 | 第19-23页 |
| 2.3.1 Black模型 | 第19-20页 |
| 2.3.2 Korhonen模型 | 第20-21页 |
| 2.3.3 原子通量散度模型 | 第21-23页 |
| 2.4 本章小结 | 第23-24页 |
| 第3章 多物理耦合场下加热器尺寸变动仿真分析 | 第24-38页 |
| 3.1 加热器仿真模型的建立 | 第24-26页 |
| 3.1.1 几何模型 | 第24-25页 |
| 3.1.2 网格划分与参数设定 | 第25-26页 |
| 3.2 多物理场耦合仿真分析 | 第26-33页 |
| 3.3 尺寸变动对薄膜加热器影响的仿真分析 | 第33-37页 |
| 3.3.1 不同的宽度对薄膜加热器的影响 | 第34-35页 |
| 3.3.2 不同的长度对薄膜加热器的影响 | 第35-36页 |
| 3.3.3 不同的厚度对薄膜加热器的影响 | 第36页 |
| 3.3.4 仿真结果分析 | 第36-37页 |
| 3.4 本章小结 | 第37-38页 |
| 第4章 纳米薄膜加热器试验与数据分析 | 第38-51页 |
| 4.1 加热器样品的制备 | 第38-42页 |
| 4.1.1 加热器样品的结构设计 | 第38-39页 |
| 4.1.2 加热器样品的制作流程 | 第39-41页 |
| 4.1.3 加热器样品的切割与检测 | 第41-42页 |
| 4.2 试验系统与参数设定 | 第42-44页 |
| 4.2.1 搭建试验系统 | 第43页 |
| 4.2.2 试验条件设定 | 第43-44页 |
| 4.2.3 失效准则设定 | 第44页 |
| 4.3 试验方案及结果分析 | 第44-50页 |
| 4.3.1 正交试验 | 第44-48页 |
| 4.3.2 结果分析 | 第48-50页 |
| 4.4 本章小结 | 第50-51页 |
| 第5章 总结与展望 | 第51-53页 |
| 5.1 全文总结 | 第51-52页 |
| 5.2 展望 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-56页 |
| 致谢 | 第56-58页 |
| 附录 | 第58页 |
