| 致谢 | 第4-5页 |
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-22页 |
| 1.1 引言 | 第10-11页 |
| 1.2 硅基光学相控阵技术研究进展 | 第11-17页 |
| 1.2.1 实现OPA二维扫描的研究进展 | 第11-14页 |
| 1.2.2 优化OPA辐射特性的研究进展 | 第14-17页 |
| 1.3 本文的主要内容和结构安排 | 第17-18页 |
| 参考文献 | 第18-22页 |
| 第2章 硅基光学相控阵原理与器件设计 | 第22-38页 |
| 2.1 光学相控阵基本原理 | 第22-29页 |
| 2.1.1 衍射理论 | 第22-23页 |
| 2.1.2 远场图案 | 第23-29页 |
| 2.2 硅基光学相控阵设计 | 第29-36页 |
| 2.2.1 整体结构组成 | 第29页 |
| 2.2.2 MMI功分器设计与测试 | 第29-31页 |
| 2.2.3 输出光栅阵列设计 | 第31-34页 |
| 2.2.4 热电极组设计 | 第34-36页 |
| 2.3 本章小结 | 第36页 |
| 参考文献 | 第36-38页 |
| 第3章 一维硅基光学相控阵实验测试与分析 | 第38-53页 |
| 3.1 测试系统搭建与组成 | 第38-41页 |
| 3.2 一维光学相控阵静态测试 | 第41-46页 |
| 3.2.1 待测器件结构 | 第42页 |
| 3.2.2 傅里叶成像系统测试流程 | 第42-43页 |
| 3.2.3 维硅基光学相控阵静态辐射特性测试与表征 | 第43-46页 |
| 3.3 一维光学相控阵动态扫描测试与分析 | 第46-51页 |
| 3.3.1 器件结构 | 第46-48页 |
| 3.3.2 热调相控扫描测试分析 | 第48-49页 |
| 3.3.3 波长扫描测试分析 | 第49-51页 |
| 3.4 本章小结 | 第51-52页 |
| 参考文献 | 第52-53页 |
| 第4章 硅基光学相控阵辐射特性的优化研究 | 第53-69页 |
| 4.1 用于相位误差检测的低相干检测技术研究 | 第53-55页 |
| 4.1.1 低相干检测系统组成与基本原理 | 第53-54页 |
| 4.1.2 用于检测硅基光学相控阵相位误差的可行性分析 | 第54-55页 |
| 4.2 基于反馈的硅基光相控阵辐射特性优化系统的研究 | 第55-61页 |
| 4.2.1 反馈优化系统组成 | 第55-56页 |
| 4.2.2 爬山算法与理论仿真 | 第56-58页 |
| 4.2.3 反馈优化系统实验测试评估 | 第58-61页 |
| 4.3 用于栅瓣消除的光栅不等间距分布的光学相控阵研究 | 第61-67页 |
| 4.3.1 光栅不等间距分布相控阵基本原理 | 第61页 |
| 4.3.2 用于位置分布参数优化的遗传算法介绍与仿真 | 第61-64页 |
| 4.3.3 不等间距光学相控阵辐射特性测试分析 | 第64-67页 |
| 4.4 本章小结 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-69页 |
| 第5章 总结与展望 | 第69-72页 |
| 5.1 总结 | 第69-70页 |
| 5.2 工作中不足与展望 | 第70-72页 |
| 作者简介 | 第72页 |
