| 第一章 绪论 | 第11-18页 |
| 1.1 引言 | 第11-12页 |
| 1.2 本论文的研究意义 | 第12-17页 |
| 参考文献 | 第17-18页 |
| 第二章 SAW技术原理 | 第18-40页 |
| 2.1 引言 | 第18-19页 |
| 2.2 声表面波的激发和接受 | 第19-21页 |
| 2.3 叉指换能器分析模型 | 第21-30页 |
| 2.3.1 叉指换能器的δ函数模型 | 第21-24页 |
| 2.3.2 叉指换能器的等效电路模型 | 第24-28页 |
| 2.3.3 p矩阵 | 第28-30页 |
| 2.4 SAW多条耦合器 | 第30-36页 |
| 2.5 组合声路频率响应 | 第36-38页 |
| 参考文献 | 第38-40页 |
| 第三章 SAW在传感器中的应用 | 第40-65页 |
| 3.1 引言 | 第40页 |
| 3.2 SAW传感器的基本原理 | 第40-43页 |
| 3.3 SAW传感器的应用 | 第43-55页 |
| 3.3.1 SAW气体传感器 | 第43页 |
| 3.3.2 SAW温度传感器 | 第43-44页 |
| 3.3.3 SAW压力和力矩传感器 | 第44-45页 |
| 3.3.4 SAW湿度传感器 | 第45-55页 |
| 3.4 SAW传感器的特点 | 第55-56页 |
| 3.5 SAW传感器所用的压电材料 | 第56-58页 |
| 参考文献 | 第58-65页 |
| 第四章 Y型和S型双声路SAW质量传感器件研制 | 第65-86页 |
| 4.1 引言 | 第65-66页 |
| 4.2 Y型双声路SAW质量传感器件的设计原理与参数计算 | 第66-74页 |
| 4.2.1 IDT的设计 | 第66-70页 |
| 4.2.2 多条耦合器的设计 | 第70-74页 |
| 4.3 S型双声路SAW质量传感器件的设计原理与参数计算 | 第74-77页 |
| 4.4 Y型和S型双声路SAW质量传感器器件的Matlab仿真 | 第77-80页 |
| 4.5 工艺研制 | 第80-85页 |
| 参考文献 | 第85-84页 |
| 附录: Legendre函数的特性 | 第84-86页 |
| 第五章 测试电路的设计 | 第86-109页 |
| 5.1 引言 | 第86-88页 |
| 5.2 双声路SAW质量传感器测量系统的结构及其工作原理 | 第88-89页 |
| 5.3 质量传感器测量系统各部分的电路设计 | 第89-108页 |
| 5.3.1 石英晶体振荡器 | 第89-94页 |
| 5.3.2 SAW延迟线振荡器的设计 | 第94-97页 |
| 5.3.3 混频器的选择 | 第97-98页 |
| 5.3.4 滤波器的设计 | 第98-100页 |
| 5.3.5 数字信号处理和数据显示电路的设计 | 第100-108页 |
| 参考文献 | 第108-109页 |
| 第六章 测试结果与分析讨论 | 第109-153页 |
| 6.1 非振荡模式下器件性能测试 | 第109-120页 |
| 6.1.1 Y型双声路SAW质量传感器件非振荡模式下频域特性测试 | 第109-113页 |
| 6.1.2 Y型双声路质量传感器件非振荡模式下时域特性测试 | 第113-116页 |
| 6.1.3 S型双声路SAW质量传感器件非振荡模式下频域特性测试 | 第116-118页 |
| 6.1.4 S型双声路质量传感器件非振荡模式下时域特性测试 | 第118-120页 |
| 6.2 应用P矩阵法推导、分析双声路声表面波质量传感器件特性 | 第120-133页 |
| 6.2.1 Y型和S型双声路声表面波质量传感器件的传输特性表达式推导 | 第120-123页 |
| 6.2.2 “一”字型双声路声表面波质量传感器件传输特性表达式推导 | 第123-124页 |
| 6.2.3 应用P矩阵法计算S型双声路声表面波质量传感器件传输特性 | 第124-126页 |
| 6.2.4 应用P矩阵法计算“一”字(参数同S型)型声表面波质量传感器件特性 | 第126-127页 |
| 6.2.5 应用P矩阵法分析计算Y型双声路声表面波质量传感器件特性 | 第127-128页 |
| 6.2.6 应用P矩阵法计算“一”字(参数同Y型)型声表面波质量传感器件特性 | 第128-129页 |
| 6.2.7 实验结果与应用P矩阵法分析结果比较 | 第129-133页 |
| 6.2.7.1 S型双声路声表面波质量传感器件实验结果 | 第129-131页 |
| 6.2.7.2 Y型双声路声表面波质量传感器件实验结果 | 第131-133页 |
| 6.3 振荡模式下器件性能测试 | 第133-144页 |
| 6.3.1 振荡模式下Y型和S型双声路声表面波器件温度特性测试 | 第133-139页 |
| 6.3.2 振荡模式下Y型和S型双声路声表面波器件质量沉积效应特性测试 | 第139-144页 |
| 6.4 Y型和S型声表面波传感器件性能比较 | 第144-146页 |
| 参考文献 | 第146-147页 |
| 附录一: S型双声路声表面波器件三次反射信号表达式推导 | 第147-148页 |
| 附录二: “一”字型双声路声表面波器件三次反射信号表达式推导 | 第148-149页 |
| 附录三: 应用P矩阵法计算S型双声路声表面波质量传感器件传输特性 | 第149-151页 |
| 附录四: 应用P矩阵法计算“一”字型双声路声表面波质量传感器件特性(参数同S型) | 第151-153页 |
| 第七章 总结 | 第153-158页 |
| 7.1 本文所作的研究工作 | 第153-156页 |
| 7.2 本论文的创新点 | 第156-157页 |
| 7.3 存在的问题和改进意见 | 第157-158页 |
| 致谢 | 第158-159页 |
| 附录: 攻读博士期间发表的论文 | 第159页 |
