熔石英表面大气等离子体去损伤加工关键技术研究
| 摘要 | 第9-10页 |
| ABSTRACT | 第10-11页 |
| 第一章 绪论 | 第12-20页 |
| 1.1 课题来源与意义 | 第12-14页 |
| 1.1.1 课题来源 | 第12页 |
| 1.1.2 课题研究的背景与意义 | 第12-14页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第14-19页 |
| 1.2.1 去损伤加工现状 | 第14页 |
| 1.2.2 大气等离子体加工技术发展现状 | 第14-18页 |
| 1.2.3 技术对比及加工定位 | 第18-19页 |
| 1.3 论文主要研究内容 | 第19-20页 |
| 第二章 大气等离子体加工原理与系统搭建 | 第20-29页 |
| 2.1 大气等离子体加工原理 | 第20-23页 |
| 2.1.1 电感耦合等离子体发生原理 | 第20-21页 |
| 2.1.2 材料去除原理 | 第21-23页 |
| 2.2 大气等离子体加工系统设计 | 第23-28页 |
| 2.2.1 大气等离子体加工系统简介 | 第23-24页 |
| 2.2.2 新一代加工系统设计 | 第24-28页 |
| 2.3 本章小结 | 第28-29页 |
| 第三章 大气等离子体去损伤研究 | 第29-44页 |
| 3.1 亚表面损伤综述 | 第29-30页 |
| 3.1.1 亚表面损伤的产生 | 第29页 |
| 3.1.2 亚表面损伤形式 | 第29-30页 |
| 3.1.3 亚表面损伤检测 | 第30页 |
| 3.2 去除磨削损伤 | 第30-38页 |
| 3.2.1 去损伤能力验证 | 第30-33页 |
| 3.2.2 去损伤过程研究 | 第33-36页 |
| 3.2.3 不同磨削工艺的损伤去除 | 第36-38页 |
| 3.3 去除划痕 | 第38-42页 |
| 3.4 去损伤模型 | 第42-43页 |
| 3.5 本章小结 | 第43-44页 |
| 第四章 大气等离子体面形加工去除函数研究 | 第44-62页 |
| 4.1 去除函数提取 | 第44-47页 |
| 4.1.1 斑点法提取去除函数 | 第45页 |
| 4.1.2 线性扫描法提取去除函数 | 第45-47页 |
| 4.2 去除函数鲁棒性 | 第47-50页 |
| 4.2.1 靶距 | 第47-48页 |
| 4.2.2 功率 | 第48-49页 |
| 4.2.3 反应气体流量 | 第49-50页 |
| 4.3 入射角度对去除函数的影响 | 第50-55页 |
| 4.4 去除函数的时变性研究 | 第55-61页 |
| 4.4.1 扫描速度对去除函数的影响 | 第55-58页 |
| 4.4.2 加工点表面温度对去除函数的影响 | 第58-61页 |
| 4.5 本章小结 | 第61-62页 |
| 第五章 大气等离子体均匀去除加工 | 第62-74页 |
| 5.1 热量累积效应处理 | 第62-66页 |
| 5.1.1 热量不均衡累积处理 | 第62-64页 |
| 5.1.2 整体热量累积处理 | 第64-66页 |
| 5.2 边缘效应处理 | 第66-67页 |
| 5.3 大镜加工实验 | 第67-73页 |
| 5.3.1 平面均匀去除 | 第67-70页 |
| 5.3.2 曲面均匀去除 | 第70-73页 |
| 5.4 本章小结 | 第73-74页 |
| 第六章 总结与展望 | 第74-76页 |
| 6.1 全文总结 | 第74-75页 |
| 6.2 研究展望 | 第75-76页 |
| 致谢 | 第76-77页 |
| 参考文献 | 第77-80页 |
| 作者在学期间取得的学术成果 | 第80页 |
