电热式MEMS微推进器设计与分析
| 摘要 | 第9-10页 |
| ABSTRACT | 第10页 |
| 第一章 绪论 | 第11-23页 |
| 1.1 论文研究背景及意义 | 第11-12页 |
| 1.2 MEMS微推进器的发展情况 | 第12-15页 |
| 1.2.1 电热式MEMS微推进器 | 第12-13页 |
| 1.2.2 静电式MEMS微推进器 | 第13-14页 |
| 1.2.3 MEMS化学微推进器 | 第14-15页 |
| 1.3 电热式MEMS微推进器的研究现状 | 第15-21页 |
| 1.3.1 电热式MEMS微推进器设计的研究现状 | 第15-16页 |
| 1.3.2 MEMS微阀的研究现状 | 第16-17页 |
| 1.3.3 MEMS微加热器的研究现状 | 第17-19页 |
| 1.3.4 MEMS微喷嘴的研究现状 | 第19-20页 |
| 1.3.5 数值模拟方法的研究现状 | 第20-21页 |
| 1.4 本文研究内容 | 第21-23页 |
| 第二章 电热式MEMS微推进器的总体分析与设计 | 第23-30页 |
| 2.1 前提条件分析 | 第23-25页 |
| 2.2 工作方案确定 | 第25-27页 |
| 2.2.1 设计类型选择 | 第25-26页 |
| 2.2.2 工作原理设计 | 第26-27页 |
| 2.3 具体结构设计 | 第27-29页 |
| 2.4 小结 | 第29-30页 |
| 第三章 微推进器中MEMS微阀的设计与研究 | 第30-43页 |
| 3.1 MEMS微阀中驱动方式的选择 | 第30-31页 |
| 3.2 MEMS微阀的结构设计 | 第31-38页 |
| 3.2.1 结构组成及其工作原理 | 第31-32页 |
| 3.2.2 关键部位形变理论计算 | 第32-35页 |
| 3.2.3 密封性能模拟仿真分析 | 第35-38页 |
| 3.3 微型流量控制阀门内流场的模拟分析 | 第38-42页 |
| 3.3.1 物理模型 | 第38-39页 |
| 3.3.2 数值模拟计算 | 第39-41页 |
| 3.3.3 结果分析与归纳 | 第41-42页 |
| 3.4 小结 | 第42-43页 |
| 第四章 微推进器中MEMS微加热器的设计与研究 | 第43-55页 |
| 4.1 微加热器的工作原理 | 第43-45页 |
| 4.2 微加热器的设计 | 第45-49页 |
| 4.2.1 能量功耗需求分析 | 第45-47页 |
| 4.2.2 构型设计 | 第47-48页 |
| 4.2.3 物理模型 | 第48-49页 |
| 4.3 微加热器的仿真模拟验证 | 第49-53页 |
| 4.3.1 网格划分 | 第49-50页 |
| 4.3.2 确定边界条件 | 第50页 |
| 4.3.3 仿真结果分析 | 第50-53页 |
| 4.4 小结 | 第53-55页 |
| 第五章 微推进器中MEMS微喷嘴的设计与研究 | 第55-66页 |
| 5.1 计算模型的建立 | 第55-58页 |
| 5.1.1 几何结构 | 第55-56页 |
| 5.1.2 物理模型 | 第56-57页 |
| 5.1.3 网格划分 | 第57-58页 |
| 5.2 计算结果分析 | 第58-65页 |
| 5.2.1 入口圆角半径对微喷嘴性能的影响 | 第61页 |
| 5.2.2 出口圆角半径对微喷嘴性能的影响 | 第61页 |
| 5.2.3 收缩比对微喷嘴性能的影响 | 第61-62页 |
| 5.2.4 扩张比对微喷嘴性能的影响 | 第62-63页 |
| 5.2.5 喉部长度对微喷嘴性能的影响 | 第63页 |
| 5.2.6 喉部宽度对微喷嘴性能的影响 | 第63-64页 |
| 5.2.7 半收缩角对微喷嘴性能的影响 | 第64页 |
| 5.2.8 半扩张角对微喷嘴性能的影响 | 第64-65页 |
| 5.3 小结 | 第65-66页 |
| 第六章 总结和展望 | 第66-69页 |
| 致谢 | 第69-71页 |
| 参考文献 | 第71-74页 |
| 作者在学期间取得的学术成果 | 第74页 |
