| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4页 |
| 第一章 绪论 | 第7-14页 |
| 1.1 课题研究目的及意义 | 第7-8页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第8-12页 |
| 1.2.1 国外研究现状 | 第8-10页 |
| 1.2.2 国内研究现状 | 第10-12页 |
| 1.3 本文主要研究内容 | 第12-14页 |
| 第二章 冲击加速度传感器的工作原理及常见微结构 | 第14-20页 |
| 2.1 材料的压阻效应 | 第14页 |
| 2.2 压阻式加速度传感器的工作原理—惠斯通电桥 | 第14-16页 |
| 2.3 常见的压阻式传感器的微梁结构 | 第16-18页 |
| 2.3.1 常见的加速度传感器结构 | 第16-18页 |
| 2.3.2 不同微结构传感器性能指标对比 | 第18页 |
| 2.4 本课题研究的加速度传感器结构及特性 | 第18-19页 |
| 2.5 本章小结 | 第19-20页 |
| 第三章 高冲击条件下加速度传感器的芯片结构建模分析 | 第20-43页 |
| 3.1 高冲击条件下传感器结构的建模分析 | 第20-34页 |
| 3.1.1 高冲击条件下悬臂梁的结构响应 | 第22-31页 |
| 3.1.2 高冲击条件下悬臂梁岛的结构响应 | 第31-34页 |
| 3.2 高冲击条件下加速度传感器的结构响应 | 第34-38页 |
| 3.2.1 加速度传感器的结构模态分析 | 第35-37页 |
| 3.2.2 加速度传感器的结构响应分析 | 第37-38页 |
| 3.3 加速度传感器失效工况 | 第38-42页 |
| 3.4 本章小结 | 第42-43页 |
| 第四章 Hopkinson杆动态加载装置设计与仿真 | 第43-52页 |
| 4.1 HOPKINSON杆动态测试装置 | 第43-45页 |
| 4.1.1 常用的传感器承载冲击测试方法 | 第43-44页 |
| 4.1.2 整形垫对加载脉冲的影响 | 第44-45页 |
| 4.2 HOPKINSON杆测试装置仿真计算 | 第45-47页 |
| 4.2.1 平头子弹撞击仿真分析 | 第45-46页 |
| 4.2.2 尖头子弹撞击仿真分析 | 第46-47页 |
| 4.3 HOPKINSON杆动态加载装置测试 | 第47-48页 |
| 4.4 HOPKINSON杆仿真与测试结果对比 | 第48-51页 |
| 4.4.1 平头子弹撞击下测试与仿真结果对比 | 第48-49页 |
| 4.4.2 尖头子弹撞击下测试与仿真结果对比 | 第49-51页 |
| 4.5 本章小结 | 第51-52页 |
| 第五章 加速度传感器动态加载及失效分析 | 第52-72页 |
| 5.1 加速度传感器的动态加载 | 第52-64页 |
| 5.2 加速度传感器的失效现象 | 第64-70页 |
| 5.3 加速度传感器试验总结 | 第70-72页 |
| 第六章 试验总结与传感器失效现象分析 | 第72-78页 |
| 6.1 试验现象总结 | 第72-73页 |
| 6.2 加速度传感器失效现象分析 | 第73-77页 |
| 6.2.1 封装管壳比芯片结构更先发生破碎现象分析 | 第73-74页 |
| 6.2.2 封装管壳材料对微结构上最大等效应力分析 | 第74-76页 |
| 6.2.3 传感器芯片大小对封装管壳抗冲击性能影响分析 | 第76-77页 |
| 6.3 本章小结 | 第77-78页 |
| 第七章 总结与展望 | 第78-81页 |
| 7.1 全文总结 | 第78-79页 |
| 7.1.1 全文总结 | 第78-79页 |
| 7.1.2 本文的主要研究贡献 | 第79页 |
| 7.2 未来工作展望 | 第79-81页 |
| 致谢 | 第81-82页 |
| 参考文献 | 第82-86页 |
| 附录 硕士研究生期间发表学术论文情况 | 第86页 |
