高性能太赫兹滤波器研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-24页 |
| 1.1 太赫兹波简介 | 第10-12页 |
| 1.1.1 太赫兹波的定义 | 第10页 |
| 1.1.2 太赫兹波的特点及应用 | 第10-12页 |
| 1.2 太赫兹滤波器的研究动态 | 第12-17页 |
| 1.2.1 国外发展动态 | 第12-15页 |
| 1.2.2 国内发展动态 | 第15-17页 |
| 1.3 可调太赫兹滤波器的研究动态 | 第17-21页 |
| 1.3.1 国外发展动态 | 第18-20页 |
| 1.3.2 国内发展动态 | 第20-21页 |
| 1.4 工艺简介 | 第21-23页 |
| 1.5 本论文主要研究内容 | 第23-24页 |
| 第二章 太赫兹波导滤波器设计 | 第24-44页 |
| 2.1 圆形波导滤波器 | 第24-30页 |
| 2.1.1 理论分析 | 第24-26页 |
| 2.1.2 设计方案一 | 第26-28页 |
| 2.1.3 设计方案二 | 第28-30页 |
| 2.2 双模波导滤波器 | 第30-35页 |
| 2.2.1 理论分析 | 第30-33页 |
| 2.2.2 设计方案 | 第33-35页 |
| 2.3 滤波器的制作测试与分析 | 第35-42页 |
| 2.3.1 滤波器的加工及装配 | 第35-38页 |
| 2.3.2 滤波器的测试 | 第38-41页 |
| 2.3.3 测试结果分析 | 第41-42页 |
| 2.4 本章小结 | 第42-44页 |
| 第三章 可调太赫兹波导滤波器设计 | 第44-65页 |
| 3.1 双层弯曲热执行器的设计 | 第44-50页 |
| 3.1.1 机械力学理论分析 | 第44-47页 |
| 3.1.2 设计方案 | 第47-48页 |
| 3.1.3 仿真优化 | 第48-50页 |
| 3.2 工艺设计 | 第50-55页 |
| 3.2.1 PolyMUMPs工艺介绍 | 第50-51页 |
| 3.2.2 双层弯曲热执行器工艺流程 | 第51-54页 |
| 3.2.3 版图设计 | 第54-55页 |
| 3.3 G波段可调波导滤波器设计 | 第55-63页 |
| 3.3.1 理论分析 | 第56-60页 |
| 3.3.2 设计方案一 | 第60-62页 |
| 3.3.3 设计方案二 | 第62-63页 |
| 3.4 本章小结 | 第63-65页 |
| 第四章 结论 | 第65-67页 |
| 致谢 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-71页 |
| 攻硕期间取得的研究成果 | 第71-72页 |
