AFM单晶硅探针磨损的实验研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-16页 |
| 1.1 课题背景及研究的目的和意义 | 第8-9页 |
| 1.2 国内外研究现状及分析 | 第9-14页 |
| 1.2.1 AFM探针针尖评价 | 第9-11页 |
| 1.2.2 减小针尖磨损的方法 | 第11-14页 |
| 1.3 本文的主要研究内容 | 第14-16页 |
| 第2章 单晶硅探针磨损程度的检测及评价方法 | 第16-29页 |
| 2.1 引言 | 第16页 |
| 2.2 利用纳米台阶评价针尖半径 | 第16-24页 |
| 2.2.1 针尖扫描纳米台阶的几何模型 | 第16-19页 |
| 2.2.2 表面轮廓的频谱分析 | 第19-21页 |
| 2.2.3 实验验证分析 | 第21-24页 |
| 2.3 利用功率谱密度分析针尖磨损情况 | 第24-28页 |
| 2.3.1 对随机信号的功率谱密度估计 | 第24-26页 |
| 2.3.2 实验分析功率谱密度评价针尖磨损情况 | 第26-28页 |
| 2.4 本章小结 | 第28-29页 |
| 第3章 测量参数对单晶硅探针磨损影响的实验研究 | 第29-44页 |
| 3.1 引言 | 第29页 |
| 3.2 进给过程中影响针尖破损的因素 | 第29-31页 |
| 3.3 AFM在敲击模式下成像质量的研究 | 第31-34页 |
| 3.3.1 成像质量的定义 | 第31-32页 |
| 3.3.2 扫描参数对成像质量的影响 | 第32-34页 |
| 3.4 AFM在敲击模式下成像力的研究 | 第34-38页 |
| 3.4.1 轻敲模式下的探针运动分析 | 第34-35页 |
| 3.4.2 数值模拟敲击模式下探针的运动 | 第35-38页 |
| 3.5 降低针尖磨损的实验分析 | 第38-42页 |
| 3.5.1 扫描速度和积分增益对针尖磨损的影响 | 第38-40页 |
| 3.5.2 扫描振幅对针尖磨损的影响 | 第40-42页 |
| 3.6 本章小结 | 第42-44页 |
| 第4章 针尖磨损对超精密加工表面测量的影响 | 第44-56页 |
| 4.1 引言 | 第44页 |
| 4.2 超精密加工表面的评价方法 | 第44-45页 |
| 4.2.1 表面粗糙度轮廓参数评价表面 | 第44-45页 |
| 4.2.2 功率谱密度评价表面 | 第45页 |
| 4.3 针尖磨损对测量磨削表面的影响 | 第45-48页 |
| 4.3.1 针尖磨损对表面粗糙度评价的影响 | 第47-48页 |
| 4.3.2 针尖磨损对功率谱密度评价的影响 | 第48页 |
| 4.4 针尖磨损对测量车削表面的影响 | 第48-52页 |
| 4.4.1 针尖磨损对表面粗糙度评价的影响 | 第49-50页 |
| 4.4.2 针尖磨损对功率谱密度评价的影响 | 第50-52页 |
| 4.5 针尖磨损对测量抛光表面的影响 | 第52-54页 |
| 4.5.1 针尖磨损对表面粗糙度评价的影响 | 第53-54页 |
| 4.5.2 针尖磨损对功率谱密度评价的影响 | 第54页 |
| 4.6 本章小结 | 第54-56页 |
| 结论 | 第56-58页 |
| 参考文献 | 第58-63页 |
| 致谢 | 第63页 |
