| 摘要 | 第3-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-20页 |
| 1.1 课题研究背景 | 第9-10页 |
| 1.2 课题研究目的和意义 | 第10-11页 |
| 1.3 薄膜损伤判别方法 | 第11-16页 |
| 1.3.1 薄膜损伤 | 第11页 |
| 1.3.2 判别薄膜损伤的方法 | 第11-16页 |
| 1.4 国内外等离子体冲击波研究现状 | 第16-18页 |
| 1.4.1 国内研究现状 | 第16-17页 |
| 1.4.2 国外研究现状 | 第17-18页 |
| 1.5 本文主要研究内容 | 第18-20页 |
| 2 等离子体冲击波产生过程 | 第20-25页 |
| 2.1 光学薄膜热吸收 | 第20-21页 |
| 2.2 等离子体产生过程 | 第21-22页 |
| 2.2.1 等离子体 | 第21页 |
| 2.2.2 激光诱导薄膜等离子体的产生 | 第21-22页 |
| 2.3 等离子体冲击波的形成及传播 | 第22-23页 |
| 2.3.1 等离子体冲击波的产生 | 第22页 |
| 2.3.2 等离子体冲击波的传播 | 第22-23页 |
| 2.4 判别薄膜损伤原理 | 第23-24页 |
| 2.5 本章小结 | 第24-25页 |
| 3 等离子体冲击波采集与特征分析 | 第25-36页 |
| 3.1 实验装置 | 第25-26页 |
| 3.2 等离子体冲击波在空气中的传播规律 | 第26-29页 |
| 3.3 等离子体冲击波传播马赫数的衰减规律 | 第29-31页 |
| 3.4 等离子体冲击声波信号的频域特征 | 第31-33页 |
| 3.5 等离子体冲击波压强与激光辐照能量之间的关系 | 第33-34页 |
| 3.6 等离子体冲击波压强与激光薄膜损伤阈值之间的关系 | 第34-35页 |
| 3.7 本章小结 | 第35-36页 |
| 4 算法设计 | 第36-43页 |
| 4.1 等离子体冲击波信号去噪滤波 | 第36-39页 |
| 4.2 曲线拟合算法设计 | 第39-42页 |
| 4.3 本章小结 | 第42-43页 |
| 5 实验结果分析 | 第43-52页 |
| 5.1 实验装置 | 第43-44页 |
| 5.2 几种常见光学薄膜等离子体冲击波实验结果分析 | 第44-50页 |
| 5.2.1 HfO_2薄膜 | 第44-46页 |
| 5.2.2 Ta_2O_5薄膜 | 第46-48页 |
| 5.2.3 TiO_2薄膜 | 第48-50页 |
| 5.3 本章小结 | 第50-52页 |
| 6 结论与展望 | 第52-55页 |
| 6.1 本文的主要工作及结论 | 第52-53页 |
| 6.2 对今后工作的展望与建议 | 第53-55页 |
| 参考文献 | 第55-60页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第60-61页 |
| 致谢 | 第61-63页 |
