| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 目录 | 第7-9页 |
| 1 绪论 | 第9-24页 |
| 1.1 压电微悬臂梁传感器简述 | 第9-10页 |
| 1.2 谐振式传感器工作模式 | 第10-11页 |
| 1.3 传感器振动特性分析 | 第11-18页 |
| 1.3.1 振型解析方程 | 第11-14页 |
| 1.3.2 共振频率 | 第14-15页 |
| 1.3.3 传感器灵敏度分析 | 第15-17页 |
| 1.3.4 品质因数 | 第17-18页 |
| 1.4 研究背景和现状 | 第18-21页 |
| 1.5 本文研究内容 | 第21-24页 |
| 2 优化截面形状以提升传感器的灵敏度 | 第24-43页 |
| 2.1 引言 | 第24-26页 |
| 2.2 V型截面悬臂梁结构微质量传感器 | 第26页 |
| 2.3 V型截面悬臂梁结构微质量传感器灵敏度分析 | 第26-36页 |
| 2.3.1 V型截面悬臂梁结构微质量传感器振动分析 | 第26-31页 |
| 2.3.2 几何参数对传感器灵敏度的影响 | 第31-33页 |
| 2.3.3 阵列式V型折叠悬臂梁结构 | 第33-35页 |
| 2.3.4 带孔V型折叠悬臂梁结构传感器 | 第35-36页 |
| 2.4 V型截面悬臂梁结构微质量传感器实验验证 | 第36-42页 |
| 2.4.1 传感器的制备 | 第36-38页 |
| 2.4.2 实验结果分析 | 第38-40页 |
| 2.4.3 灵敏度误差分析 | 第40-42页 |
| 2.6 本章小结 | 第42-43页 |
| 3 基于高阶谐振模态的传感器灵敏度提升方法研究 | 第43-53页 |
| 3.1 引言 | 第43页 |
| 3.2 变厚度高阶模态微悬臂梁传感器结构振动模型 | 第43-45页 |
| 3.2.1 高阶模态微悬臂梁传感器的结构设计 | 第43-44页 |
| 3.2.2 传感器的振型理论分析 | 第44-45页 |
| 3.3 仿真和实验结果分析 | 第45-50页 |
| 3.3.1 仿真分析 | 第45-48页 |
| 3.3.2 实验验证 | 第48-50页 |
| 3.4 传感器几何尺寸参数优化 | 第50-52页 |
| 3.4.1 延伸层各段长度比优化 | 第50-51页 |
| 3.4.2 延伸层各段厚度比优化 | 第51-52页 |
| 3.5 本章小结 | 第52-53页 |
| 4 微流体通道悬臂梁微质量传感器 | 第53-60页 |
| 4.1 引言 | 第53页 |
| 4.2 弯折微流体通道悬臂梁传感器 | 第53-55页 |
| 4.2.1 弯折微流体通道悬臂梁传感器的结构形式 | 第53-54页 |
| 4.2.2 微流体通道悬臂梁传感工作模式 | 第54-55页 |
| 4.3 弯折微流体通道悬臂梁传感灵敏度分析 | 第55-58页 |
| 4.4 U型微流体通道悬臂梁传感器 | 第58-59页 |
| 4.5 本章小结 | 第59-60页 |
| 结论 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-65页 |
| 攻读硕士学位期间发表论文和申请专利情况 | 第65-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |