| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-14页 |
| 1.1 课题背景及研究的目的和意义 | 第8-9页 |
| 1.2 国内外研究现状及分析 | 第9-12页 |
| 1.2.1 切削加工中对切削力检测的研究现状 | 第9页 |
| 1.2.2 纳米机械性能的检测的研究现状 | 第9-11页 |
| 1.2.3 采用力控制进行机械加工 | 第11-12页 |
| 1.3 本文的主要研究内容 | 第12-14页 |
| 第2章 三棱锥针尖微刻划实验的研究 | 第14-25页 |
| 2.1 引言 | 第14页 |
| 2.2 微刻划实验装置及原理 | 第14-17页 |
| 2.3 力开、闭环控制对刻划微沟槽结构影响的研究 | 第17-19页 |
| 2.4 力闭环情况下利用三棱锥的面、棱进行刻划的实验研究 | 第19-23页 |
| 2.5 本章小结 | 第23-25页 |
| 第3章 力控制系统中 PID 参数对刻划实验结果的影响 | 第25-45页 |
| 3.1 引言 | 第25页 |
| 3.2 UMAC 控制器中的 PID 模块 | 第25-28页 |
| 3.3 控制系统参数对 Al 合金刻划实验的研究 | 第28-43页 |
| 3.3.1 力控制系统的比例系数 Kp对刻划实验影响的研究 | 第28-33页 |
| 3.3.2 力控制系统的积分系数 Ki对刻划实验影响的研究 | 第33-37页 |
| 3.3.3 控制系统参数中的比例系数 Kp和积分系数 Ki综合作用对刻划实验影响的研究 | 第37-43页 |
| 3.3.3.1 Kp 和 Ki 综合作用对刻划过程中力值的影响 | 第37-40页 |
| 3.3.3.2 Kp 和 Ki 综合作用对沟槽形貌的影响 | 第40-43页 |
| 3.4 本章小结 | 第43-45页 |
| 第4章 恒力模式下微沟槽加工的实验研究 | 第45-54页 |
| 4.1 引言 | 第45页 |
| 4.2 恒力模式下刻划 PMMA 的实验研究 | 第45-50页 |
| 4.3 在液体下对 Al 合金和 PMMA 刻划实验的研究 | 第50-53页 |
| 4.4 本章小结 | 第53-54页 |
| 结论 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-59页 |
| 攻读学位期间发表的论文 | 第59-61页 |
| 致谢 | 第61页 |
