透明导电掺铝氧化锌薄膜的制备修饰及其自清洁性能研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-18页 |
| 1.1 课题背景及研究目的和意义 | 第8-9页 |
| 1.2 掺铝氧化锌薄膜的研究现状 | 第9-13页 |
| 1.2.1 AZO 薄膜的结构 | 第9页 |
| 1.2.2 AZO 薄膜的性质 | 第9-10页 |
| 1.2.3 AZO 薄膜的应用 | 第10-11页 |
| 1.2.4 AZO 薄膜的制备方法 | 第11-13页 |
| 1.3 自洁仿生薄膜的研究现状 | 第13-17页 |
| 1.3.1 自洁仿生薄膜概述 | 第13-15页 |
| 1.3.2 自洁仿生膜的制备方法 | 第15-17页 |
| 1.4 本文主要研究内容 | 第17-18页 |
| 第2章 实验材料及研究方法 | 第18-24页 |
| 2.1 试验试剂及仪器 | 第18-19页 |
| 2.1.1 实验试剂 | 第18页 |
| 2.1.2 主要设备 | 第18-19页 |
| 2.2 实验流程 | 第19页 |
| 2.3 实验方法 | 第19-21页 |
| 2.3.1 玻璃的前处理工艺 | 第19页 |
| 2.3.2 透明导电 AZO 膜的制备 | 第19-21页 |
| 2.3.3 自洁 AZO 膜工艺研究 | 第21页 |
| 2.4 AZO 薄膜的测试表征方法 | 第21-24页 |
| 2.4.1 相组成分析 | 第21-22页 |
| 2.4.2 表面形貌分析 | 第22页 |
| 2.4.3 原子力显微镜分析 | 第22页 |
| 2.4.4 紫外-可见吸收光谱分析 | 第22-23页 |
| 2.4.5 面电阻测试 | 第23页 |
| 2.4.6 接触角测试仪 | 第23-24页 |
| 第3章 溶胶凝胶法制备 AZO 膜及其性能研究 | 第24-41页 |
| 3.1 引言 | 第24页 |
| 3.2 制备方法 | 第24-27页 |
| 3.2.1 溶胶凝胶法制备透明导电 AZO 膜 | 第25-27页 |
| 3.2.2 自洁 AZO 膜的制备 | 第27页 |
| 3.3 溶胶凝胶工艺研究 | 第27-31页 |
| 3.3.1 拉膜次数对结构和形貌的影响 | 第27-29页 |
| 3.3.2 拉膜次数对光电性能的影响 | 第29-30页 |
| 3.3.3 膜厚度测试及表面分析 | 第30-31页 |
| 3.4 化学刻蚀工艺研究 | 第31-40页 |
| 3.4.1 刻蚀浓度的影响 | 第32-35页 |
| 3.4.2 刻蚀时间的影响 | 第35-40页 |
| 3.5 本章小结 | 第40-41页 |
| 第4章 磁控溅射法制备 AZO 膜及其性能研究 | 第41-54页 |
| 4.1 引言 | 第41页 |
| 4.2 制备方法 | 第41-43页 |
| 4.2.1 磁控溅射法制备透明导电 AZO 膜 | 第41-43页 |
| 4.2.2 自洁 AZO 膜的制备 | 第43页 |
| 4.3 磁控溅射工艺研究 | 第43-48页 |
| 4.3.1 溅射功率对结构与形貌的影响 | 第43-45页 |
| 4.3.2 溅射功率对光电性能的影响 | 第45-46页 |
| 4.3.3 膜厚度测试及表面分析 | 第46-48页 |
| 4.4 化学刻蚀工艺研究 | 第48-53页 |
| 4.4.1 刻蚀时间的影响 | 第48-53页 |
| 4.5 本章小结 | 第53-54页 |
| 结论 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-59页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及其它成果 | 第59-61页 |
| 致谢 | 第61页 |
