| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6页 |
| 第1章 绪论 | 第10-17页 |
| 1.1 引言 | 第10-13页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第13-16页 |
| 1.3 主要研究内容 | 第16-17页 |
| 第2章 微型谐振气体传感器三场耦合自由振动特性分析 | 第17-45页 |
| 2.1 悬臂梁动力学模型 | 第17-18页 |
| 2.2 悬臂梁化学反应模型 | 第18-20页 |
| 2.3 分子力计算公式 | 第20-21页 |
| 2.4 悬臂梁三场耦合自由振动方程 | 第21-31页 |
| 2.4.1 固有频率与模态函数 | 第21-26页 |
| 2.4.2 近似解析解 | 第26-30页 |
| 2.4.3 瞬时频率 | 第30-31页 |
| 2.5 结果分析 | 第31-44页 |
| 2.5.1 分子力对固有频率影响规律分析 | 第32-35页 |
| 2.5.2 动态位移响应 | 第35-37页 |
| 2.5.3 瞬时频率 | 第37-42页 |
| 2.5.4 灵敏度分析 | 第42-44页 |
| 2.6 本章小结 | 第44-45页 |
| 第3章 微型谐振气体传感器四场耦合振动特性分析 | 第45-68页 |
| 3.1 电场力的分析 | 第45-47页 |
| 3.2 悬臂梁四场耦合自由振动分析 | 第47-49页 |
| 3.3 悬臂梁四场耦合受迫振动分析 | 第49-54页 |
| 3.4 结果分析 | 第54-67页 |
| 3.4.1 静态位移结果分析 | 第54-55页 |
| 3.4.2 固有频率 | 第55-57页 |
| 3.4.3 瞬时频率 | 第57-65页 |
| 3.4.4 幅频特性分析 | 第65-67页 |
| 3.6 本章小结 | 第67-68页 |
| 第4章 微型谐振气体传感器四场耦合非线性振动特性分析 | 第68-80页 |
| 4.1 分子力与电场力非线性展开 | 第68-69页 |
| 4.2 非线性误差计算 | 第69-70页 |
| 4.3 固有频率求解 | 第70-72页 |
| 4.4 庞加莱法非线性振动求解 | 第72-74页 |
| 4.5 振动方程系数项分析 | 第74-75页 |
| 4.6 结果分析 | 第75-79页 |
| 4.6.1 非线性误差分析 | 第75-76页 |
| 4.6.2 不考虑化学场的非线性分析 | 第76-77页 |
| 4.6.3 考虑化学场的非线性分析 | 第77-78页 |
| 4.6.4 瞬时频率变化趋势分析 | 第78-79页 |
| 4.7 本章小结 | 第79-80页 |
| 第5章 微型谐振气体传感器的研制与实验 | 第80-104页 |
| 5.1 材料的选择 | 第80-81页 |
| 5.2 光刻加工 | 第81-86页 |
| 5.2.1 工艺步骤及要求 | 第81-85页 |
| 5.2.2 光刻实验及出现的问题 | 第85-86页 |
| 5.3 硅片腐蚀 | 第86-90页 |
| 5.3.1 氧化层去除 | 第86-87页 |
| 5.3.2 单晶硅各向异性湿法腐蚀 | 第87-88页 |
| 5.3.3 腐蚀实验及注意事项 | 第88-90页 |
| 5.4 真空镀膜 | 第90-92页 |
| 5.4.1 悬臂梁及基底镀金属层 | 第90-91页 |
| 5.4.2 悬臂梁蒸镀敏感层 | 第91-92页 |
| 5.5 传感器的封装 | 第92-93页 |
| 5.6 谐振气体传感器振动实验 | 第93-103页 |
| 5.6.1 实验原理 | 第93-94页 |
| 5.6.2 实验测试结果 | 第94-102页 |
| 5.6.3 实验结果分析 | 第102-103页 |
| 5.7 本章小结 | 第103-104页 |
| 结论 | 第104-105页 |
| 参考文献 | 第105-109页 |
| 攻读硕士学位期间承担的科研任务与主要成果 | 第109-110页 |
| 致谢 | 第110页 |