| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 1 绪论 | 第10-20页 |
| 1.1 课题概述 | 第10-14页 |
| 1.2 光刻机像差检测技术研究现状及发展趋势 | 第14-18页 |
| 1.3 本文主要研究工作及创新 | 第18-20页 |
| 2 基于光强传输方程的波像差原位检测理论与方法 | 第20-35页 |
| 2.1 引言 | 第20-21页 |
| 2.2 光强传输方程 | 第21-23页 |
| 2.3 光强传输方程鲁棒性分析 | 第23-26页 |
| 2.4 基于光强传输方程的波像差原位检测理论方法 | 第26-29页 |
| 2.5 基于光强传输方程的波像差原位检测仿真实验 | 第29-33页 |
| 2.6 本章小结 | 第33-35页 |
| 3 基于单帧光强提取的波像差原位检测理论与方法 | 第35-55页 |
| 3.1 引言 | 第35-36页 |
| 3.2 部分相干照明条件下光刻机系统成像模型 | 第36-44页 |
| 3.3 基于单帧光强提取的波像差原位检测理论方法 | 第44-46页 |
| 3.4 基于灵敏度矩阵的掩模图形优化设计 | 第46-49页 |
| 3.5 基于单帧光强提取的波像差原位检测仿真实验 | 第49-53页 |
| 3.6 本章小结 | 第53-55页 |
| 4 基于迭代求解的波像差原位检测理论与方法 | 第55-69页 |
| 4.1 引言 | 第55-56页 |
| 4.2 光刻机成像系统二次像差畸变模型 | 第56-59页 |
| 4.3 基于迭代求解的波像差原位检测理论方法 | 第59-61页 |
| 4.4 基于迭代求解的波像差原位检测仿真实验 | 第61-68页 |
| 4.5 本章小结 | 第68-69页 |
| 5 基于解析灵敏度函数的偏振像差原位检测理论与方法 | 第69-101页 |
| 5.1 引言 | 第69-70页 |
| 5.2 包含偏振像差的矢量成像模型 | 第70-82页 |
| 5.3 基于解析灵敏度函数的偏振像差检测理论方法 | 第82-92页 |
| 5.4 基于解析灵敏度函数的偏振像差检测仿真实验 | 第92-100页 |
| 5.5 本章小结 | 第100-101页 |
| 6 总结与展望 | 第101-104页 |
| 6.1 全文总结 | 第101-102页 |
| 6.2 研究展望 | 第102-104页 |
| 参考文献 | 第104-112页 |
| 致谢 | 第112-113页 |
| 附录1 攻读博士学位期间发表学术论文目录 | 第113-114页 |
| 附录2 攻读学位期间申请的国家发明专利 | 第114-115页 |
| 附录3 攻读学位期间参会经历及所获奖励 | 第115页 |