微型热膨胀式流体陀螺及其关键技术研究
| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-12页 |
| 图表目录 | 第12-17页 |
| 缩写表 | 第17页 |
| 符号参数表 | 第17-22页 |
| 1 绪论 | 第22-32页 |
| ·微热流惯性器件 | 第23-30页 |
| ·微热流加速度计 | 第23-24页 |
| ·微热流陀螺 | 第24-30页 |
| ·本论文主要研究内容 | 第30-32页 |
| 2 微型热膨胀式流体陀螺理论模型 | 第32-48页 |
| ·热膨胀式流体陀螺工作原理 | 第32-33页 |
| ·热膨胀式流体陀螺理论模型 | 第33-41页 |
| ·质量守恒方程 | 第34-35页 |
| ·惯量守恒方程 | 第35-38页 |
| ·热能守恒方程 | 第38-40页 |
| ·气体压强与温度关联方程 | 第40-41页 |
| ·热膨胀式流体陀螺COMSOL模型及数值解 | 第41-47页 |
| ·热膨胀式流体陀螺COMSOL模型 | 第41-45页 |
| ·热膨胀式流体陀螺COMSOL数值解 | 第45-47页 |
| ·小结 | 第47-48页 |
| 3 微型热膨胀式流体陀螺优化设计 | 第48-62页 |
| ·热膨胀式流体陀螺气体选择 | 第48-55页 |
| ·温度传感器位置优化设计 | 第55页 |
| ·加热源驱动信号优化设计 | 第55-58页 |
| ·驱动信号频率对陀螺性能的影响 | 第55-57页 |
| ·加热源功率对陀螺性能的影响 | 第57-58页 |
| ·温度检测机理及性能预估 | 第58-61页 |
| ·小结 | 第61-62页 |
| 4 微型热膨胀式流体陀螺工艺设计及实现 | 第62-86页 |
| ·引言 | 第62-63页 |
| ·加热源和温度传感器结构设计及实现 | 第63-69页 |
| ·加热源和温度传感器结构设计 | 第64-65页 |
| ·加热源和温度传感器制备 | 第65-69页 |
| ·结构低应力释放工艺 | 第69-79页 |
| ·二氧化硅支撑桥结构设计 | 第69-70页 |
| ·二氧化硅层厚度优选 | 第70-73页 |
| ·硅腔体刻蚀工艺 | 第73-79页 |
| ·热膨胀式流体陀螺制备工艺流程 | 第79-83页 |
| ·热膨胀式流体陀螺版图 | 第79-81页 |
| ·热膨胀式流体陀螺加工步骤 | 第81-83页 |
| ·小结 | 第83-86页 |
| 5 微型热膨胀式流体陀螺实验 | 第86-100页 |
| ·陀螺测试系统 | 第86-91页 |
| ·热膨胀式流体陀螺测试电路 | 第86-89页 |
| ·双通道高速数据采集及红外传输系统 | 第89-91页 |
| ·热膨胀式流体陀螺驱动特性实验 | 第91-94页 |
| ·驱动信号频率对陀螺灵敏度的影响 | 第91-92页 |
| ·驱动方波信号占空比对陀螺灵敏度的影响 | 第92-93页 |
| ·加热源功率对陀螺灵敏度的影响 | 第93-94页 |
| ·热膨胀式流体陀螺性能测试 | 第94-98页 |
| ·热膨胀式流体陀螺标度因数实验 | 第94-95页 |
| ·热膨胀式流体陀螺零偏稳定性实验 | 第95-97页 |
| ·热膨胀式流体陀螺带宽实验 | 第97页 |
| ·热膨胀式流体陀螺性能分析与对比 | 第97-98页 |
| ·小结 | 第98-100页 |
| 6 微型热膨胀式流体陀螺线加速度效应自补偿技术 | 第100-118页 |
| ·热膨胀式流体陀螺线加速度效应及其机理 | 第100-103页 |
| ·热膨胀式流体陀螺线加速度效应 | 第100-102页 |
| ·热膨胀式流体陀螺线加速度效应产生机理 | 第102-103页 |
| ·热膨胀式流体陀螺线加速度效应自补偿机理 | 第103-106页 |
| ·热流陀螺线加速度效应自补偿技术数值仿真验证 | 第106-111页 |
| ·热流陀螺线加速度效应自补偿技术实验验证 | 第111-116页 |
| ·小结 | 第116-118页 |
| 7 总结及展望 | 第118-124页 |
| ·总结 | 第118-121页 |
| ·论文的创新点及贡献 | 第121页 |
| ·未来工作展望 | 第121-124页 |
| 致谢 | 第124-126页 |
| 参考文献 | 第126-134页 |
| 攻读博士学位期间发表的论文和专利授予情况 | 第134页 |
| 攻读博士学位期间参加的科学研究情况 | 第134页 |
