| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-18页 |
| ·SED基本结构及工作原理 | 第9-11页 |
| ·SED平板显示器的发展 | 第11-17页 |
| ·阴极材料电子发射性能 | 第11-12页 |
| ·表面电子发射膜的制备方法 | 第12-13页 |
| ·纳米缝隙形成方法 | 第13-15页 |
| ·电子发射机理 | 第15-17页 |
| ·SED目前存在的问题 | 第17页 |
| ·主要研究内容 | 第17-18页 |
| 2 碳钛颗粒膜的制备以及特性研究 | 第18-29页 |
| ·工艺参数对碳钛颗粒膜特性的影响 | 第18-24页 |
| ·碳钛颗粒膜厚度及电阻率均匀性 | 第20-22页 |
| ·工艺参数对碳钛颗粒膜特性的影响研究 | 第22-24页 |
| ·碳钛颗粒膜表征 | 第24-28页 |
| ·碳钛颗粒膜形貌表征 | 第24-25页 |
| ·碳钛颗粒膜成分表征 | 第25-26页 |
| ·碳钛颗粒膜结构表征 | 第26-28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 3 基于碳钛颗粒膜的SED原型器件制作 | 第29-34页 |
| ·电极的制备 | 第29-33页 |
| ·电极图形化工艺研究 | 第29-33页 |
| ·电极的制备 | 第33页 |
| ·原型器件制作 | 第33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 4 基于碳钛颗粒膜器件的电子发射特性 | 第34-54页 |
| ·原型器件测试 | 第34-36页 |
| ·测试设备 | 第34-35页 |
| ·电形成过程 | 第35-36页 |
| ·不同碳钛比的发射薄膜对电子发射特性的影响研究 | 第36-43页 |
| ·不同碳钛比例颗粒膜的电子发射测试结果分析 | 第36-41页 |
| ·不同碳钛比例对电子发射特性影响的结果分析 | 第41-43页 |
| ·不同器件结构对电子发射特性的影响研究 | 第43-52页 |
| ·不同电极结构和发射薄膜形状对电子发射特性的影响结果 | 第44-50页 |
| ·不同电极结构和发射薄膜形状对电子发射特性的影响结果分析 | 第50-52页 |
| ·电子发射机理分析 | 第52-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 5 结论 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-58页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第58-59页 |
| 致谢 | 第59-61页 |