| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-13页 |
| 第1章 绪论 | 第13-29页 |
| ·研究背景及意义 | 第13-16页 |
| ·光栅刻划机的国内外发展现状 | 第16-20页 |
| ·机械刻划光栅刻线误差修正方法的国内外研究现状 | 第20-26页 |
| ·机械修正方法 | 第22-24页 |
| ·光电控制方法 | 第24-26页 |
| ·论文主要研究内容和结构安排 | 第26-29页 |
| ·论文的主要研究内容 | 第26-27页 |
| ·论文的结构安排 | 第27-29页 |
| 第2章 光栅刻划机工作原理、误差分析及光电控制方法 | 第29-45页 |
| ·引言 | 第29页 |
| ·光栅刻划机运行方式及主要工作原理 | 第29-36页 |
| ·光栅刻划机的主要运行方式 | 第29-31页 |
| ·光栅刻划机刻划系统工作原理 | 第31-33页 |
| ·光栅刻划机分度系统工作原理 | 第33-36页 |
| ·机械刻划光栅的刻线误差主要来源及其分析方法 | 第36-41页 |
| ·光栅刻线误差的主要来源 | 第36-38页 |
| ·有限元分析法在光栅刻线误差来源分析中的应用 | 第38-40页 |
| ·非理想平面光栅的衍射成像性能分析方法 | 第40-41页 |
| ·光栅刻划机微定位工作台的光电控制方法 | 第41-44页 |
| ·微定位工作台系统辨识方法 | 第41-42页 |
| ·微定位工作台控制算法 | 第42-43页 |
| ·微定位工作台位移和摆角测量方法 | 第43-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 第3章 刻线误差与基底面型误差分离方法及其对光栅性能影响分析 | 第45-61页 |
| ·引言 | 第45-46页 |
| ·基底面型误差、刻线误差与光栅衍射波前关系的理论模型 | 第46-48页 |
| ·光栅衍射光谱性能的二维快速傅里叶变换分析方法 | 第48-53页 |
| ·惠更斯原理的近似表达式 | 第48-50页 |
| ·光栅衍射谱光强分布的二维快速傅里叶变换方法 | 第50-52页 |
| ·光栅性能指标求解方法 | 第52-53页 |
| ·实验验证及分析 | 第53-60页 |
| ·光栅刻线误差和基底面型误差分离实验 | 第53-55页 |
| ·刻线误差和基底面型误差对光栅光谱性能影响分析 | 第55-58页 |
| ·任意级衍射波前重构及其与实测衍射波前对比分析 | 第58-60页 |
| ·结论 | 第60-61页 |
| 第4章 刻线弯曲与刻线位置误差对光栅性能影响及机械修正方法 | 第61-91页 |
| ·引言 | 第61-62页 |
| ·非理想平面光栅的光线追迹分析法 | 第62-68页 |
| ·非理想平面光栅成像系统的理论模型 | 第62-64页 |
| ·等间距刻线弯曲和刻线位置误差对光栅性能影响分析 | 第64-68页 |
| ·光栅等间距刻线弯曲的机械修正方法 | 第68-80页 |
| ·刻划刀架系统结构对称性问题的机械修正方法 | 第69-72页 |
| ·石英导轨系统刚度问题的机械修正方法 | 第72-75页 |
| ·刻划刀架系统驱动方式问题的机械修正方法 | 第75-80页 |
| ·光栅刻线位置误差的机械修正方法 | 第80-90页 |
| ·光栅刻线不完整问题的机械修正方法 | 第80-83页 |
| ·刻划刀架系统运行稳定性问题的机械修正方法 | 第83-90页 |
| ·结论 | 第90-91页 |
| 第5章 光栅刻划机微定位工作台摆角误差实时修正技术研究 | 第91-137页 |
| ·引言 | 第91-92页 |
| ·光栅刻划机微定位工作台系统建模及动态性能分析 | 第92-101页 |
| ·微定位工作台系统的灰箱建模 | 第92-94页 |
| ·微定位工作台系统参数估计 | 第94-97页 |
| ·微定位工作台系统动态性能分析 | 第97-101页 |
| ·微定位工作台的BP神经网络PID控制方法 | 第101-115页 |
| ·BP神经网络PID控制原理 | 第102-106页 |
| ·BP神经网络PID控制器仿真分析 | 第106-110页 |
| ·BP神经网络PID控制与传统PID控制对比实验 | 第110-115页 |
| ·微定位工作台摆角误差实时修正方法及实验分析 | 第115-134页 |
| ·双压电陶瓷式摆角误差实时修正原理 | 第116页 |
| ·单压电陶瓷式摆角误差实时修正原理 | 第116-121页 |
| ·微定位工作台摆角误差测量实验及误差分析 | 第121-129页 |
| ·光栅刻划机微定位工作台摆角误差修正实验及分析 | 第129-134页 |
| ·本章小结 | 第134-137页 |
| 第6章 总结与展望 | 第137-141页 |
| ·论文工作总结 | 第137-138页 |
| ·展望 | 第138-141页 |
| 参考文献 | 第141-149页 |
| 在学期间学术成果情况 | 第149-151页 |
| 指导教师及作者简介 | 第151-153页 |
| 致谢 | 第153-154页 |
