新型精密直驱转台误差分析与建模研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 1 绪论 | 第10-16页 |
| ·研究背景、来源和意义 | 第10-11页 |
| ·国内外研究现状 | 第11-15页 |
| ·主要研究内容 | 第15-16页 |
| 2 直驱转台伺服系统设计与实现 | 第16-28页 |
| ·直接驱动技术 | 第16-17页 |
| ·直接驱动基本方式 | 第16页 |
| ·直驱技术的优点 | 第16-17页 |
| ·直驱技术存在的问题 | 第17页 |
| ·转台伺服系统 | 第17-27页 |
| ·PMAC 控制器简介 | 第19-20页 |
| ·PMAC 与上位机的通信 | 第20-21页 |
| ·PID 控制与前馈控制 | 第21-22页 |
| ·PID 伺服滤波器工作原理 | 第22-23页 |
| ·PID 滤波器参数调节 | 第23-25页 |
| ·主轴驱动系统 | 第25页 |
| ·测量反馈系统 | 第25-27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 3 时栅直驱转台误差分析 | 第28-44页 |
| ·误差的定义与分类 | 第28-29页 |
| ·直驱转台的系统误差分析 | 第29-30页 |
| ·元件误差 | 第30-36页 |
| ·时栅误差 | 第30-31页 |
| ·偏心误差 | 第31-32页 |
| ·主轴回转误差 | 第32-33页 |
| ·工作台与主轴不垂直产生的误差 | 第33-36页 |
| ·量化误差 | 第36页 |
| ·温度与摩擦干扰 | 第36-38页 |
| ·动态误差分析 | 第38-41页 |
| ·时栅动态反馈误差 | 第41-43页 |
| ·本章小节 | 第43-44页 |
| 4 动态误差建模研究 | 第44-58页 |
| ·动态测量简介 | 第44页 |
| ·随机误差建模方法 | 第44-45页 |
| ·时栅数据预处理 | 第45-47页 |
| ·动态测量数据的组合模型 | 第46页 |
| ·数据截断与采样 | 第46页 |
| ·异常数据剔除 | 第46-47页 |
| ·数据辨识与检验 | 第47页 |
| ·误差分离 | 第47-49页 |
| ·系统误差分离 | 第47页 |
| ·随机误差分离 | 第47-49页 |
| ·预测模型 | 第49-50页 |
| ·自回归模型 | 第49页 |
| ·滑动平均模型 | 第49-50页 |
| ·自回归滑动平均模型 | 第50页 |
| ·模型定阶和参数估计 | 第50-53页 |
| ·模型的检验 | 第53-54页 |
| ·非稳定动态测量数据误差分离 | 第54页 |
| ·预测模型参数实时求解 | 第54-56页 |
| ·误差修正技术与方法 | 第56-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 5 精度测试与实验结果研究 | 第58-66页 |
| ·直驱转台实验系统设计 | 第58-59页 |
| ·动态精度实验 | 第59-63页 |
| ·时栅直驱转台精度检测 | 第63-64页 |
| ·本章小结 | 第64-66页 |
| 6 总结与展望 | 第66-68页 |
| ·总结 | 第66-67页 |
| ·展望 | 第67-68页 |
| 致谢 | 第68-70页 |
| 参考文献 | 第70-74页 |
| 个人简历、在学期间发表的学术论文及取得的研究成果 | 第74页 |
