| 中文摘要 | 第1-6页 |
| 第一章 文献综述 | 第6-24页 |
| 1．1 引言 | 第6-8页 |
| 1．2 MEMS器件及其应用 | 第8-12页 |
| 1．3 微机械加速度传感器 | 第12-18页 |
| 1．4 硅微机械加工技术 | 第18-23页 |
| 1．5 总结 | 第23-24页 |
| 第二章 传感器工作原理和结构设计 | 第24-37页 |
| 2．1 引言 | 第24页 |
| 2．2 传感器结构 | 第24-25页 |
| 2．3 传感器工作原理 | 第25-30页 |
| 2．4 传感器的频率响应 | 第30-33页 |
| 2．5 芯片结构尺寸的确定 | 第33-34页 |
| 2．6 传感器的温度特性 | 第34-36页 |
| 2．7 本章小结 | 第36-37页 |
| 第三章 加速度传感器的工艺实现 | 第37-49页 |
| 3．1 传感器的基本工艺流程 | 第37页 |
| 3．2 芯片中间梁-岛结构的制作工艺 | 第37-40页 |
| 3．3 上下盖板的制作工艺 | 第40-41页 |
| 3．4 加速度传感器芯片及盖板的掩膜板图形 | 第41-43页 |
| 3．5 工艺过程的监控和测量 | 第43-46页 |
| 3．6 器件封装 | 第46页 |
| 3．7 流片中遇到的问题和解决方法 | 第46-47页 |
| 3．8 影响器件成品率的一些原因 | 第47-49页 |
| 第四章 传感器结构和工艺的改进 | 第49-55页 |
| 4．1 改变敏感电阻位置以提高灵敏度 | 第49页 |
| 4．2 减小加速度传感器的温度系数 | 第49-50页 |
| 4．3 减小悬臂梁双金属效应 | 第50-54页 |
| 4．4 本章小结 | 第54-55页 |
| 第五章 加速度传感器的横向效应、静态动态测量和应用 | 第55-64页 |
| 5．1 传感器的横向响应 | 第55-56页 |
| 5．2 加速度传感器静态性能的测试方法 | 第56-57页 |
| 5．3 横向效应在分度头检测中的影响和减小方法 | 第57-58页 |
| 5．4 静态测量结果 | 第58-60页 |
| 5．5 加速度传感器的动态测试 | 第60-61页 |
| 5．6 压阻式加速度传感器的应用 | 第61-63页 |
| 5．7 本章小结 | 第63-64页 |
| 附录： 测试数据和处理结果 | 第64-68页 |
| 参考文献 | 第68-73页 |
| 致 谢 | 第73-74页 |
| 个人简介 | 第74页 |