| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-17页 |
| ·课题的提出 | 第8页 |
| ·MEMS技术简介 | 第8-10页 |
| ·硅基流量传感器简介 | 第10-14页 |
| ·硅基热式流量传感器简介 | 第14-16页 |
| ·本文的主要工作 | 第16-17页 |
| 2 热温差式流量传感器的热分析 | 第17-24页 |
| ·热量的传递方式 | 第17-18页 |
| ·热温差式气体流量传感器的流体热分析 | 第18-21页 |
| ·AYSYS软件有限元分析模拟气体流量传感器热分布 | 第21-24页 |
| 3 气体流量传感器的设计与制作 | 第24-41页 |
| ·气体流量传感器的设计 | 第24-30页 |
| ·微型加热器及温度传感器的材料选择 | 第24-27页 |
| ·微型加热器及温度传感器的设计 | 第27-28页 |
| ·流量传感器的热隔离设计 | 第28-29页 |
| ·气体流量传感器版图设计 | 第29-30页 |
| ·硅基芯片的工艺制作 | 第30-36页 |
| ·掩模版的设计与制作 | 第31页 |
| ·双面热氧化 | 第31-32页 |
| ·LPCVD方法制作氮化硅薄膜 | 第32页 |
| ·刻蚀隔热硅杯 | 第32-33页 |
| ·射频溅射Ti/Pt薄膜 | 第33-34页 |
| ·真空热蒸发铝薄膜 | 第34-35页 |
| ·真空电子束蒸发SiO_2薄膜 | 第35-36页 |
| ·玻璃基板上气体沟道的设计与制作 | 第36-39页 |
| ·气体沟道的图形设计与掩模版制作 | 第36-37页 |
| ·气体沟道的制作工艺 | 第37-39页 |
| ·热温差式气体流量传感器的封接 | 第39-41页 |
| 4 气体流量传感器电路及软件设计 | 第41-56页 |
| ·气体流量传感器硬件电路设计 | 第41-47页 |
| ·信号采集通道电路 | 第42-44页 |
| ·控制及显示电路 | 第44-46页 |
| ·加热电路设计 | 第46页 |
| ·串口通信电路 | 第46-47页 |
| ·气体流量检测系统的软件设计 | 第47-56页 |
| ·单片机软件设计 | 第48-51页 |
| ·基于C++ Builder软件的控制与显示界面设计 | 第51-56页 |
| 5 实验结果与讨论 | 第56-71页 |
| ·Pt金属薄膜特性分析 | 第56-59页 |
| ·Pt金属薄膜的温度特性与加热特性 | 第56-58页 |
| ·SiO_2钝化膜对金属Pt薄膜特性的影响 | 第58-59页 |
| ·气体流量传感器测试系统构建 | 第59-60页 |
| ·气体流量传感器的测试与标定 | 第60-71页 |
| ·芯片的隔热性能分析 | 第61-62页 |
| ·微加热器的工作电压 | 第62-63页 |
| ·芯片钝化膜厚度的影响 | 第63-64页 |
| ·不同环境温度下加热器的温度补偿 | 第64页 |
| ·不同深度玻璃通道下气体流量测量 | 第64-66页 |
| ·不同流量下的测温电阻选择 | 第66-68页 |
| ·气体流量传感器的测试结果 | 第68-71页 |
| 结论 | 第71-72页 |
| 参考文献 | 第72-75页 |
| 附录A 系统电路图 | 第75-76页 |
| 附录B C++ Builder串口通信部分源代码 | 第76-78页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第78-79页 |
| 致谢 | 第79-80页 |