| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 第一章 引言 | 第9-19页 |
| §1-1 薄膜太阳电池及其发展概述 | 第9-11页 |
| 1-1-1 薄膜太阳电池的发展 | 第9-10页 |
| 1-1-2 硅基薄膜太阳电池及其发展现状 | 第10-11页 |
| 1-1-3 硅基薄膜太阳电池中的透明导电薄膜 | 第11页 |
| §1-2 透明导电氧化物薄膜概述 | 第11-13页 |
| 1-2-1 透明导电氧化物薄膜 | 第11-12页 |
| 1-2-2 透明导电氧化物薄膜概述 | 第12-13页 |
| §1-3 ITO 薄膜 | 第13-17页 |
| 1-3-1 光学性能 | 第13页 |
| 1-3-2 电学性能 | 第13-14页 |
| 1-3-3 结构特性 | 第14-15页 |
| 1-3-4 制备方法 | 第15-17页 |
| 1-3-5 ITO 薄膜在太阳电池上的应用 | 第17页 |
| §1-4 问题的提出及本课题的主要研究内容 | 第17-19页 |
| 1-4-1 薄膜研究中亟待解决的问题 | 第17页 |
| 1-4-2 研究内容和具体研究方案 | 第17-19页 |
| 第二章 实验方法与测试仪器设备简介 | 第19-24页 |
| §2-1 ITO 薄膜的制备方法和设备 | 第19-21页 |
| 2-1-1 电阻加热反应蒸发法 | 第19页 |
| 2-1-2 电子束加热反应蒸发法 | 第19-20页 |
| 2-1-3 实验设备 | 第20-21页 |
| §2-2 薄膜性能测试方法及仪器 | 第21-24页 |
| 2-2-1 薄膜厚度的测试 | 第21-22页 |
| 2-2-2 霍尔迁移率、载流子浓度和方块电阻的测试 | 第22-23页 |
| 2-2-3 薄膜透过率的测试 | 第23页 |
| 2-2-4 材料晶化率和结晶取向的测试 | 第23页 |
| 2-2-5 材料化学剂量比的测试 | 第23页 |
| 2-2-6 薄膜太阳电池的光电转化效率的测试 | 第23-24页 |
| 第三章 ITO 薄膜的制备及性能研究 | 第24-46页 |
| §3-1 电阻加热反应蒸发法 | 第24-32页 |
| 3-1-1 氧压对ITO 薄膜光电性能的影响 | 第25-26页 |
| 3-1-2 衬底温度对ITO 薄膜光电性能的影响 | 第26-28页 |
| 3-1-3 生长速率对ITO 薄膜光电性能的影响 | 第28-32页 |
| §3-2 电子束反应蒸发法 | 第32-37页 |
| 3-2-1 氧压对ITO 薄膜光电性能的影响 | 第32-34页 |
| 3-2-2 衬底温度对ITO 薄膜光电性能的影响 | 第34-37页 |
| §3-3 Sn 含量对ITO 薄膜光电性能的影响 | 第37-45页 |
| 3-3-1 Sn 含量对薄膜透过率的影响 | 第38页 |
| 3-3-2 Sn 含量对薄膜电学性能的影响 | 第38-39页 |
| 3-3-3 Sn 含量对薄膜微观结构的影响 | 第39-41页 |
| 3-3-4 薄膜表面组分的X 射线光电子能谱分析 | 第41-45页 |
| §3-4 本章小结 | 第45-46页 |
| 第四章 ITO 薄膜在太阳电池上的应用 | 第46-56页 |
| §4-1 引言 | 第46-47页 |
| 4-1-1 太阳电池工作原理 | 第46页 |
| 4-1-2 非晶硅太阳能电池 | 第46-47页 |
| 4-1-3 微晶硅太阳能电池 | 第47页 |
| §4-2 ITO 薄膜厚度优化 | 第47-52页 |
| 4-2-1 太阳电池前电极的减反射原理 | 第47-48页 |
| 4-2-2 太阳电池背反射电极的增反原理 | 第48-49页 |
| 4-2-3 厚度对薄膜光电性能的影响 | 第49-52页 |
| §4-3 ITO 在薄膜太阳电池上的应用 | 第52-55页 |
| 4-3-1 ITO 薄膜在电池前电极上的应用 | 第52-53页 |
| 4-3-2 ITO 薄膜在电池背电极上的应用 | 第53-55页 |
| §4-4 本章小结 | 第55-56页 |
| 第五章 结论 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
| 攻读学位期间所取得的相关科研成果 | 第62页 |