面向IC制造的净化机器人的研究与设计
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-20页 |
| ·引言 | 第9页 |
| ·国内外净化机器人研究发展现状及分析 | 第9-14页 |
| ·国外净化机器人的研究概况 | 第10-14页 |
| ·国内净化机器人的研究概况 | 第14页 |
| ·净化机器人的研究特点 | 第14-15页 |
| ·净化机器人的关键技术 | 第15-18页 |
| ·课题来源与主要研究内容 | 第18-19页 |
| ·课题来源 | 第18页 |
| ·论文主要研究内容 | 第18-19页 |
| ·本章小结 | 第19-20页 |
| 2 净化机器人构型及设计原则的研究 | 第20-28页 |
| ·引言 | 第20页 |
| ·净化机器人的约束关系 | 第20-21页 |
| ·净化机器人的功能 | 第21-22页 |
| ·不同构型的净化机器人研究 | 第22-25页 |
| ·机器人的构型分类 | 第22-24页 |
| ·净化机器人的构型分类 | 第24-25页 |
| ·净化机器人不同构型的比较 | 第25页 |
| ·净化机器人的设计原则 | 第25-27页 |
| ·基于洁净作业的设计原则 | 第25-26页 |
| ·基于效率的设计原则 | 第26页 |
| ·基于结构优化的设计原则 | 第26-27页 |
| ·基于可扩展性的设计原则 | 第27页 |
| ·净化机器人的构型确定 | 第27页 |
| ·本章小节 | 第27-28页 |
| 3 净化机器人机械结构的实现 | 第28-47页 |
| ·净化机器人操作手臂的运动学与动力学分析 | 第28-33页 |
| ·径向直线伸缩运动分析 | 第28-29页 |
| ·净化机器人操作手臂的运动学分析 | 第29-31页 |
| ·净化机器人操作手臂的动力学分析 | 第31-33页 |
| ·净化机器人总体方案 | 第33-35页 |
| ·净化机器人的整体方案 | 第33-34页 |
| ·净化机器人的相关技术指标 | 第34-35页 |
| ·R向机械结构的实现 | 第35-41页 |
| ·净化机器人的臂部结构设计 | 第35-36页 |
| ·净化机器人臂部结构设计的特点 | 第36-37页 |
| ·净化机器人臂部结构设计的原则 | 第37-38页 |
| ·R向传动结构的设计 | 第38-41页 |
| ·θ向机械结构的实现 | 第41-42页 |
| ·Z向机械结构的实现 | 第42-46页 |
| ·Z向结构设计 | 第42-43页 |
| ·滚珠丝杠副的选型计算 | 第43-46页 |
| ·本章小节 | 第46-47页 |
| 4 净化机器人控制系统硬件结构设计 | 第47-63页 |
| ·净化机器人控制系统的确定 | 第47-54页 |
| ·机器人控制系统的分类与设计原则 | 第47-48页 |
| ·净化机器人控制系统的设计要求 | 第48页 |
| ·净化机器人控制系统的确定 | 第48-49页 |
| ·MPC02运动控制卡软硬件简介 | 第49-54页 |
| ·净化机器人伺服系统的确定 | 第54-57页 |
| ·伺服系统的组成与分类 | 第54-56页 |
| ·净化机器人伺服系统的确定 | 第56页 |
| ·交流伺服电机的选型 | 第56-57页 |
| ·控制系统硬件结构的设计 | 第57-61页 |
| ·控制系统的组成结构 | 第57-58页 |
| ·伺服电机控制模式的选择 | 第58-59页 |
| ·控制电路的设计 | 第59-61页 |
| ·本章小节 | 第61-63页 |
| 5 控制系统的软件设计与实现 | 第63-73页 |
| ·软件平台与开发工具的选用 | 第63-64页 |
| ·系统软件结构的设计及其数据流程 | 第64-65页 |
| ·控制系统的工作过程 | 第64页 |
| ·控制系统的软件结构 | 第64-65页 |
| ·用户层软件的设计与实现 | 第65-72页 |
| ·直线运动操作界面的实现 | 第66-68页 |
| ·插补运动操作界面的实现 | 第68-70页 |
| ·“门”型运动操作界面的实现 | 第70-72页 |
| ·本章小节 | 第72-73页 |
| 6 结论与展望 | 第73-75页 |
| 参考文献 | 第75-77页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第77-78页 |
| 附录A 净化机器人专利申请受理通知书 | 第78-79页 |
| 附录B 净化机器人外型图 | 第79-80页 |
| 致谢 | 第80-81页 |
| 大连理工大学学位论文版权使用授权书 | 第81页 |
