用于声表面波甲醛传感器的相关系统研究

摘要	第1-5页
Abstract	第5-8页
1 绪论	第8-17页
·声表面波(SAW)气体传感器的概念	第8-10页
·气体传感器及其分类	第8-9页
·声表面波气体传感器	第9-10页
·声表面波气体传感器的特征	第10-11页
·声表面波气体传感器的国内外发展状况	第11-13页
·声表面波气体传感器的现实意义和应用前景	第13-14页
·甲醛传感器的意义和难度	第14-15页
·甲醛的基本性质	第14页
·甲醛的危害性及甲醛传感器的意义	第14页
·甲醛传感器的难度	第14-15页
·本文的工作	第15-17页
2 声表面波气体传感器的制作	第17-28页
·声表面波基底材料的选择	第17-20页
·声表面波压电基片的必备条件	第17页
·压电基片材料	第17-20页
·叉指换能器的设计	第20-24页
·声表面波器件的制作工艺及其结果	第24-28页
3 声表面波气体传感器的信号处理系统设计	第28-52页
·声表面波气体传感器的基本原理	第28-29页
·声表面波气体传感器电路系统的设计	第29-48页
·声表面波谐振器的选择	第29-31页
·谐振电路的设计	第31-36页
·高频混频电路的选择与实现	第36-40页
·接口电路及其信号处理	第40-42页
·射频(RF)发射与接收电路	第42-48页
·声表面波气体传感器系统软件的设计	第48-52页
·频率测量子程序	第50页
·频率通信子程序	第50-52页
4 声表面波气体传感器的气体测试系统	第52-69页
·温度、湿度控制系统	第52-53页
·气体浓度控制系统	第53-56页
·薄膜制备及测试数据的整理与分析	第56-69页
·薄膜制备	第56-58页
·测试数据的整理与分析	第58-69页
结论	第69-70页
参考文献	第70-72页
附录A 双端声表面波谐振器测试系统原理图	第72-73页
附录B 单片机数据处理程序	第73-77页
攻读硕士学位期间发表学术论文情况	第77-78页
致谢	第78-79页
大连理工大学学位论文版权使用授权书	第79页