| 中文摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-9页 |
| 第一章 文献综述 | 第9-16页 |
| ·声表面波技术与声表面波器件SAW 发展史 | 第9-10页 |
| ·声表面波滤波器结构原理 | 第10-11页 |
| ·LiNbO3/IDT/金刚石/Si 多层结构高频声表面波滤波器结构原理 | 第11-13页 |
| ·立项依据及主要工作 | 第13-16页 |
| 第二章 MPCVD 沉积金刚石薄膜及表征分析 | 第16-27页 |
| ·M MPCVD 简介 | 第16-18页 |
| ·硅衬底上金刚石薄膜的制备与表征 | 第18-25页 |
| ·硅基片表面处理对形核的影响 | 第19-21页 |
| ·CH_4/H_2配比的影响 | 第21-23页 |
| ·最佳条件下沉积金刚石薄膜 | 第23-25页 |
| ·本章小结 | 第25-27页 |
| 第三章 LiNbO3/IDT/金刚石/Si 多层结构高频声表面波滤波器的优化设计及仿真 | 第27-39页 |
| ·雷米兹交换算法 | 第27-31页 |
| ·数学依据 | 第27-28页 |
| ·雷米兹算法流程 | 第28-31页 |
| ·LiNbO3/IDT/金刚石/Si 多层结构横向声表面波滤波器的优化设计与仿真 | 第31-37页 |
| ·一款带通SAWF 的设计实例 | 第31-34页 |
| ·优化设计结果数据分析 | 第34-37页 |
| ·本章小结 | 第37-39页 |
| 第四章 制作 LiNbO3/IDT/金刚石/Si 的 SAWF | 第39-42页 |
| ·LiNbO3/IDT/金刚石/Si 多层结构横向声表面波滤波器的制作过程 | 第39-40页 |
| ·LiNbO3/IDT/金刚石/Si 多层结构横向 SAWF 封装 | 第40-42页 |
| 第五章 高频声表面波滤波器的测试 | 第42-49页 |
| ·SAWF 测试原理及方法 | 第42-46页 |
| ·网络分析仪工作原理 | 第42-43页 |
| ·SAWF 测试 | 第43-46页 |
| ·SAWF 测量结果及分析 | 第46-47页 |
| ·SAWF 测量结果与理论模拟结果的对比 | 第47-49页 |
| 第六章 结论 | 第49-50页 |
| 参考文献 | 第50-53页 |
| 发表论文及参与科研 | 第53-54页 |
| 致谢 | 第54-55页 |
