| 第一章 绪论 | 第1-10页 |
| 第1节 传感器的研究意义和发展趋势 | 第5-9页 |
| 第2节 本论文的主要工作 | 第9-10页 |
| 第二章 X型压阻传感器原理及其定解方程的确立 | 第10-24页 |
| 第1节 硅的压阻效应 | 第10-17页 |
| 第2节 X型硅压阻传感器原理 | 第17-19页 |
| 第3节 基本型X型压阻传感器各点电势定解方程及边界条件的确立 | 第19-24页 |
| 第三章 X型硅压阻式压力传感器解析模型的确立 | 第24-35页 |
| 第1节 摄动法原理 | 第24-26页 |
| 第2节 基本型X型压阻传感器定解问题的解析解 | 第26-32页 |
| 第3节 X型压阻传感器的输出电压解析解 | 第32-35页 |
| 第四章 X型压阻传感器的解析模型 | 第35-42页 |
| 第1节 二端口网络的低频h参数等效电路 | 第35-36页 |
| 第2节 X型压阻传感器的低频h参数等效电路 | 第36-39页 |
| 第3节 X型压阻传感器解析模型的验证 | 第39-42页 |
| 第五章 结束语 | 第42-44页 |
| 参考文献 | 第44-46页 |
| 致谢 | 第46页 |