| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-29页 |
| ·ZnO 的研究背景 | 第13-14页 |
| ·ZnO 的基本性质 | 第14-18页 |
| ·ZnO 的结构 | 第14-16页 |
| ·ZnO 中的本征缺陷 | 第16-17页 |
| ·ZnO 中的非故意掺杂杂质 | 第17-18页 |
| ·ZnO 薄膜的性能及其应用 | 第18-20页 |
| ·光电特性 | 第18-19页 |
| ·气敏特性 | 第19页 |
| ·压电特性 | 第19-20页 |
| ·压敏特性 | 第20页 |
| ·ZnO 材料的其他应用 | 第20页 |
| ·ZnO 薄膜的掺杂 | 第20-24页 |
| ·Al 掺杂ZnO 薄膜的研究意义 | 第20-22页 |
| ·Mn 掺杂ZnO 薄膜的研究意义 | 第22-24页 |
| ·ZnO 薄膜的制备方法 | 第24-27页 |
| ·磁控溅射法 | 第24-25页 |
| ·脉冲激光沉积法 | 第25页 |
| ·分子束外延法 | 第25-26页 |
| ·化学气相沉积法 | 第26页 |
| ·喷雾热分解法 | 第26-27页 |
| ·溶胶－凝胶法 | 第27页 |
| ·本文的研究目标及内容 | 第27-29页 |
| ·研究目标 | 第27-28页 |
| ·研究内容 | 第28-29页 |
| 第二章 ZnO 及其掺杂薄膜的制备及测试方法 | 第29-43页 |
| ·Sol-Gel 法涂膜 | 第29-33页 |
| ·Sol-Gel 法的基本过程 | 第29-30页 |
| ·溶胶-凝法的特点 | 第30-31页 |
| ·溶胶-凝胶法制备薄膜常用的方法 | 第31-32页 |
| ·影响因素 | 第32-33页 |
| ·溅射镀膜 | 第33-35页 |
| ·溅射镀膜的基本过程 | 第34-35页 |
| ·溅射镀膜的分类 | 第35页 |
| ·磁控溅射镀膜 | 第35-37页 |
| ·磁控溅射的原理 | 第35-36页 |
| ·磁控溅射的特点 | 第36-37页 |
| ·测试方法 | 第37-43页 |
| ·物相结构分析 | 第37-38页 |
| ·薄膜表面形貌分析 | 第38-39页 |
| ·紫外-可见光谱分析 | 第39-40页 |
| ·霍尔效应分析 | 第40-42页 |
| ·PL 谱分析 | 第42-43页 |
| 第三章 溶胶凝胶法制备ZnO 薄膜及其表征 | 第43-60页 |
| ·薄膜的制备 | 第43-47页 |
| ·实验原料 | 第43-44页 |
| ·实验仪器 | 第44页 |
| ·薄膜制备流程 | 第44-46页 |
| ·样品测试技术 | 第46-47页 |
| ·溶胶稳定性分析 | 第47-48页 |
| ·结构及形貌分析 | 第48-51页 |
| ·薄膜的晶体结构 | 第48-50页 |
| ·薄膜的表面形貌 | 第50-51页 |
| ·光学性能分析 | 第51-58页 |
| ·透射光谱 | 第51-57页 |
| ·光致发光 | 第57-58页 |
| ·电学性能分析 | 第58-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 第四章 溶胶凝胶法制备ZAO 薄膜及其表征 | 第60-69页 |
| ·薄膜的制备 | 第60-61页 |
| ·实验原料 | 第60页 |
| ·薄膜制备流程 | 第60-61页 |
| ·ZAO 薄膜的结构及形貌分析 | 第61-63页 |
| ·ZAO 薄膜的光学性能分析 | 第63-65页 |
| ·ZAO 薄膜的电学性能分析 | 第65-68页 |
| ·本章小结 | 第68-69页 |
| 第五章 磁控溅射法制备 ZnO:Mn 薄膜及其表征 | 第69-77页 |
| ·Mn 掺杂 ZnO 薄膜的制备 | 第69-71页 |
| ·实验原料及仪器 | 第69页 |
| ·实验流程 | 第69-71页 |
| ·薄膜的测试技术 | 第71页 |
| ·Mn 掺杂 ZnO 薄膜的结构及形貌分析 | 第71-73页 |
| ·薄膜的晶体结构 | 第71-73页 |
| ·薄膜的表面形貌 | 第73页 |
| ·薄膜的透射光谱 | 第73-74页 |
| ·Mn 掺杂 ZnO 薄膜的电学性能分析 | 第74-75页 |
| ·本章小结 | 第75-77页 |
| 第六章 结论 | 第77-79页 |
| 参考文献 | 第79-83页 |
| 致谢 | 第83-84页 |
| 在学期间的研究成果及发表的学术论文 | 第84页 |
| 在学期间主要参加的科研项目 | 第84页 |