硅太阳能电池背表面钝化研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-15页 |
| ·太阳能电池前景 | 第7-8页 |
| ·能源危机 | 第7页 |
| ·可再生能源 | 第7-8页 |
| ·太阳能电池的发展历史及现状 | 第8-11页 |
| ·单晶硅电池 | 第9页 |
| ·多晶硅电池 | 第9页 |
| ·非晶硅/单晶硅异质结（HIT）太阳电池 | 第9-10页 |
| ·薄膜光伏电池 | 第10-11页 |
| ·背面钝化技术研究概况 | 第11-13页 |
| ·本文主要的研究工作 | 第13-15页 |
| 第二章 太阳能电池原理 | 第15-23页 |
| ·光电转换过程 | 第15-16页 |
| ·P-N 结的形成 | 第16页 |
| ·太阳能电池等效电路图 | 第16-17页 |
| ·影响电池效率的主要因素 | 第17-18页 |
| ·少数载流子的复合理论 | 第18-20页 |
| ·钝化膜的表面钝化作用 | 第20-23页 |
| 第三章 实验设备 | 第23-29页 |
| ·直接式PECVD | 第23页 |
| ·RTP 设备 | 第23-24页 |
| ·热氧化炉 | 第24页 |
| ·椭偏仪 | 第24-25页 |
| ·暂稳态少子寿命测试仪（QSSPCD） | 第25-26页 |
| ·太阳电池效率测试仪 | 第26-27页 |
| ·本章小结 | 第27-29页 |
| 第四章 硅片背表面钝化研究 | 第29-47页 |
| ·太阳能电池薄片化 | 第29-30页 |
| ·背面复合损失 | 第30页 |
| ·PC1D 模拟 | 第30-32页 |
| ·不同介质膜的钝化效果 | 第32-45页 |
| ·氢化的不同厚度的氮化硅膜的背面钝化作用 | 第32-37页 |
| ·对不同的腐蚀界面钝化的效果 | 第37页 |
| ·不同折射率氮化硅膜背面钝化效果 | 第37-40页 |
| ·2.3 折射率氮化硅膜的退火特性 | 第40-42页 |
| ·CTO，RTO 及与氮化硅叠层的钝化效果 | 第42-45页 |
| ·本章小结 | 第45-47页 |
| 第五章 电池结果及分析 | 第47-55页 |
| ·背面钝化电池 | 第47-54页 |
| ·去除P-N 结的实验 | 第47-49页 |
| ·背面钝化电池的制备 | 第49-52页 |
| ·利用腐蚀浆料的方法制备背接触 | 第52-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 第六章 总结和展望 | 第55-57页 |
| ·总结 | 第55-56页 |
| ·展望 | 第56-57页 |
| 致谢 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-62页 |
| 附录：作者在攻读硕士学位期间发表的论文 | 第62页 |
