PZT薄膜材料的生长与应用
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-29页 |
| ·压电/铁电材料 | 第13-20页 |
| ·压电的基本理论 | 第13-15页 |
| ·压电材料的主要性能和参数 | 第15-17页 |
| ·铁电特性 | 第17-20页 |
| ·压电/铁电材料的发展与用途 | 第20-23页 |
| ·表面声波器件 | 第21页 |
| ·铁电随机存储器 | 第21-22页 |
| ·薄膜化的压电变压器 | 第22-23页 |
| ·光学器件 | 第23页 |
| ·微电子机械系统 | 第23页 |
| ·本文研究目的 | 第23-25页 |
| 参考文献 | 第25-29页 |
| 第二章 溶胶-凝胶法制备PZT薄膜 | 第29-55页 |
| ·PZT薄膜的制备方法 | 第29-32页 |
| ·烧结法 | 第30页 |
| ·溅射法 | 第30页 |
| ·脉冲激光沉积法 | 第30-31页 |
| ·化学气相沉积法 | 第31页 |
| ·分子束外延法 | 第31-32页 |
| ·溶胶-凝胶法 | 第32页 |
| ·PZT薄膜的制备 | 第32-35页 |
| ·实验试剂 | 第33页 |
| ·实验过程 | 第33-35页 |
| ·PZT薄膜的性能表征 | 第35页 |
| ·PZT薄膜的结构分析 | 第35-50页 |
| ·PZT薄膜的结晶性能分析 | 第35-45页 |
| ·PZT薄膜的SEM分析 | 第45-48页 |
| ·PZT薄膜的AFM分析 | 第48-50页 |
| ·小结 | 第50-51页 |
| 参考文献 | 第51-55页 |
| 第三章 PZT薄膜的铁电特性 | 第55-65页 |
| ·铁电测试原理与电路 | 第55-56页 |
| ·PZT铁电样品的工艺流程 | 第56-59页 |
| ·铁电测量 | 第59-63页 |
| ·小结 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-65页 |
| 第四章 薄膜体声波谐振器的建模与结构参数研究 | 第65-75页 |
| ·FBAR的结构 | 第65-67页 |
| ·空气-金属交界面来限制声波 | 第65-66页 |
| ·金属-布拉格反射层来限制声波 | 第66-67页 |
| ·结构参数研究 | 第67-73页 |
| ·薄膜体声波谐振器的等效电路模型 | 第67-69页 |
| ·体声波谐振器等效电路的分析 | 第69-70页 |
| ·谐振器结构参数对基频谐振频率的影响 | 第70-73页 |
| ·小结 | 第73-74页 |
| 参考文献 | 第74-75页 |
| 第五章 工作总结与展望 | 第75-77页 |
| ·工作总结 | 第75-76页 |
| ·展望 | 第76-77页 |
| 攻读硕士期间发表的论文 | 第77-78页 |
| 致谢 | 第78页 |
