一种用于双极电路ESD保护的SCR结构研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-7页 |
| 1 绪论 | 第7-14页 |
| ·引言 | 第7-8页 |
| ·研究背景 | 第8-12页 |
| ·集成电路ESD 发展现状 | 第8-9页 |
| ·CMOS 电路ESD 保护发展现状 | 第9-10页 |
| ·双极电路ESD 保护现状以及面临的挑战 | 第10-11页 |
| ·双极电路ESD 保护技术未来的发展 | 第11-12页 |
| ·课题来源与研究意义 | 第12页 |
| ·本论文研究的主要内容 | 第12-14页 |
| 2 双极电路常见ESD 保护结构 | 第14-24页 |
| ·电阻保护网络 | 第14-16页 |
| ·二极管保护网络 | 第16-18页 |
| ·三极管保护网络 | 第18-21页 |
| ·SCR 保护网络 | 第21-23页 |
| ·小结 | 第23-24页 |
| 3 用于ESD 保护的SCR 器件结构设计 | 第24-36页 |
| ·标准双极工艺介绍 | 第24页 |
| ·结构设计 | 第24-27页 |
| ·设计目标分析 | 第24-25页 |
| ·SCR 器件结构 | 第25-27页 |
| ·SCR 器件工艺的计算机仿真设计 | 第27-30页 |
| ·工艺流程设计 | 第27-28页 |
| ·工艺流程仿真 | 第28-30页 |
| ·SCR 器件性能参数的计算机仿真设计 | 第30-34页 |
| ·直流参数的仿真与优化 | 第30-33页 |
| ·瞬态参数仿真与分析 | 第33-34页 |
| ·相关参数的确定 | 第34-35页 |
| ·小结 | 第35-36页 |
| 4 SCR 版图单元的设计 | 第36-39页 |
| ·标准工艺的版图设计规则 | 第36-38页 |
| ·标准工艺的版图设计规则 | 第36-37页 |
| ·ESD 版图设计技术 | 第37-38页 |
| ·SCR 的ESD 保护单元版图的实现 | 第38页 |
| ·小结 | 第38-39页 |
| 5 实验结果测试与分析 | 第39-60页 |
| ·测试标准与测试方法 | 第39-47页 |
| ·人体放电模型及测试标准 | 第39-41页 |
| ·人体放电模型静电测试方法 | 第41-46页 |
| ·失效判据 | 第46-47页 |
| ·一次测试结果与分析 | 第47-53页 |
| ·二次测试结果与分析 | 第53-58页 |
| ·小结 | 第58-60页 |
| 6 总结与展望 | 第60-62页 |
| ·总结 | 第60页 |
| ·展望 | 第60-62页 |
| 致谢 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-67页 |
| 附录 | 第67页 |
