甩胶喷雾热分解方法制备BaTiO3薄膜及其介电性能研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-14页 |
| 第一章 绪论 | 第14-20页 |
| ·课题背景及意义 | 第14-19页 |
| ·课题研究内容 | 第19-20页 |
| 第二章 BATIO_3薄膜的结构与应用 | 第20-36页 |
| ·BaTIO_3特性结构 | 第20-21页 |
| ·薄膜制备方法 | 第21-34页 |
| ·真空蒸发镀膜 | 第21-23页 |
| ·分子束外延 | 第23-25页 |
| ·化学气相沉积 | 第25-26页 |
| ·磁控溅射 | 第26-28页 |
| ·脉冲激光沉积 | 第28-30页 |
| ·溶胶—凝胶法(SOL-GEL) | 第30-31页 |
| ·喷雾热分解 | 第31-33页 |
| ·匀胶法 | 第33-34页 |
| ·BaTiO_3薄膜的应用 | 第34-36页 |
| 第三章 甩胶喷雾热分解制备薄膜装置研制 | 第36-44页 |
| ·概述 | 第36页 |
| ·甩胶喷雾热分解装置构思过程 | 第36-37页 |
| ·解决问题的构思、设计及说明 | 第37-40页 |
| ·甩胶喷雾热分解装置 | 第40页 |
| ·甩胶喷雾热分解制备薄膜工艺流程 | 第40-41页 |
| ·甩胶喷雾热分解制备薄膜工艺探索 | 第41-44页 |
| ·雾嘴距离 | 第41-42页 |
| ·气体流量 | 第42页 |
| ·转速 | 第42-44页 |
| 第四章 薄膜的甩胶喷雾热分解方法制备及表征 | 第44-66页 |
| ·甩胶喷雾热分解方法原理介绍 | 第44-47页 |
| ·BaTiO_3溶胶的TG分析 | 第47-48页 |
| ·BaTiO_3薄膜的制备 | 第48-53页 |
| ·溶剂的影响 | 第48-50页 |
| ·基片的影响 | 第50-52页 |
| ·BaTiO_3溶液的配置 | 第52-53页 |
| ·BaTiO_3薄膜的表征 | 第53-55页 |
| ·晶体结构 | 第53页 |
| ·形貌分析 | 第53-54页 |
| ·膜厚测定 | 第54页 |
| ·热重分析原理 | 第54-55页 |
| ·衬底对BaTiO_3薄膜的影响 | 第55页 |
| ·退火温度BaTiO_3薄膜的影响 | 第55-57页 |
| ·不同退火温度XRD与参数关系 | 第55-56页 |
| ·不同退火温度SEM图像分析 | 第56-57页 |
| ·升温速度对BaTiO_3薄膜的影响 | 第57-58页 |
| ·退火时间对BaTiO_3薄膜的影响 | 第58-60页 |
| ·不同退火时间XRD分析 | 第58-59页 |
| ·不同退火时间SEM分析 | 第59-60页 |
| ·匀胶转数对BaTiO_3薄膜的影响 | 第60-62页 |
| ·不同转速XRD分析 | 第61页 |
| ·不同转速SEM分析 | 第61-62页 |
| ·BaTiO_3薄膜的性质测试 | 第62-65页 |
| ·介电常数的计算 | 第62-63页 |
| ·BaTiO_3测试件制备与数据分析 | 第63-65页 |
| ·小结 | 第65-66页 |
| 第五章 磁控溅射法制备BATIO_3薄膜 | 第66-71页 |
| ·前言 | 第66页 |
| ·磁控溅射原理 | 第66-67页 |
| ·BaTiO_3薄膜的制备 | 第67页 |
| ·功率与膜厚的关系 | 第67-68页 |
| ·BaTiO_3薄膜的表征 | 第68-71页 |
| ·BaTiO_3薄膜的XRD分析 | 第68-69页 |
| ·BaTiO_3薄膜介电性质分析 | 第69-71页 |
| 第六章 结论 | 第71-72页 |
| 参考文献 | 第72-76页 |
| 致谢 | 第76-77页 |
| 研究成果及发表的学术论文 | 第77页 |
| 作者简介 | 第77-78页 |
| 导师简介 | 第78-79页 |
| 北京化工大学硕士研究生学位论文答辩委员会决议书 | 第79-80页 |
