| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-15页 |
| 第一章 绪论 | 第15-28页 |
| ·ZnO的结构和性能 | 第16-20页 |
| ·ZnO的基本性质 | 第16页 |
| ·ZnO的晶体结构 | 第16-18页 |
| ·ZnO的本征缺陷 | 第18-19页 |
| ·ZnO的光谱与能级 | 第19-20页 |
| ·MgO的结构和性质 | 第20-21页 |
| ·ZnMgO三元合金薄膜 | 第21-25页 |
| ·Zn_(1-x)Mg_xO薄膜的晶体结构 | 第21-22页 |
| ·Zn_(1-x)Mg_xO单层薄膜的研究现状 | 第22-24页 |
| ·ZnMgO/ZnO异质结 | 第24-25页 |
| ·ZnO与ZnMgO薄膜的制备方法 | 第25-27页 |
| ·课题研究内容及意义 | 第27-28页 |
| 第二章 薄膜的制备与表征 | 第28-35页 |
| ·薄膜的制备及磁控溅射原理 | 第28-31页 |
| ·磁控溅射原理 | 第28页 |
| ·实验设备主要技术参数 | 第28-30页 |
| ·ZnO与ZnMgO薄膜的制备 | 第30-31页 |
| ·薄膜的表征 | 第31-35页 |
| ·结构表征 | 第31页 |
| ·形貌分析 | 第31-32页 |
| ·透射光谱 | 第32-33页 |
| ·光致发光谱 | 第33-35页 |
| 第三章 ZnO薄膜制备工艺的优化 | 第35-48页 |
| ·溅射功率对ZnO薄膜性能的影响 | 第35-38页 |
| ·溅射功率对ZnO薄膜结构的影响 | 第35-37页 |
| ·溅射功率对ZnO薄膜光学性能的影响 | 第37-38页 |
| ·氧氩比对ZnO薄膜性能的影响 | 第38-41页 |
| ·氧氩比对ZnO薄膜结构的影响 | 第38-40页 |
| ·氩氧比对ZnO薄膜光学性能的影响 | 第40-41页 |
| ·工作气压对ZnO薄膜性能的影响 | 第41-43页 |
| ·工作气压对ZnO薄膜结构的影响 | 第41-42页 |
| ·工作气压对ZnO薄膜光学性能的影响 | 第42-43页 |
| ·衬底温度对ZnO薄膜性能的影响 | 第43-46页 |
| ·衬底温度对ZnO薄膜结构的影响 | 第44-45页 |
| ·衬底温度对ZnO薄膜光学性能的影响 | 第45-46页 |
| ·本章小结 | 第46-48页 |
| 第四章 Zn_(1-x)Mg_xO薄膜的制备及其性能研究 | 第48-72页 |
| ·Mg掺量对Zn_(1-x)Mg_xO薄膜性能的影响 | 第48-54页 |
| ·结构与表面形貌表征 | 第48-51页 |
| ·透射谱分析 | 第51-53页 |
| ·光致发光谱 | 第53-54页 |
| ·溅射功率对Zn_(1-x)Mg_xO薄膜性能的影响 | 第54-58页 |
| ·结构与表面形貌表征 | 第54-55页 |
| ·透射谱分析 | 第55-57页 |
| ·光致发光谱 | 第57-58页 |
| ·氧氩比对Zn_(1-x)Mg_xO薄膜性能的影响 | 第58-60页 |
| ·结构表征 | 第58页 |
| ·透射光谱 | 第58-60页 |
| ·光致发光谱 | 第60页 |
| ·工作气压对Zn_(1-x)Mg_xO薄膜性能的影响 | 第60-64页 |
| ·结构表征 | 第60-61页 |
| ·透射谱分析 | 第61-63页 |
| ·光致发光谱 | 第63-64页 |
| ·衬底温度对Zn_(1-x)Mg_xO薄膜性能的影响 | 第64-68页 |
| ·结构与表面形貌表征 | 第64-65页 |
| ·透射谱分析 | 第65-66页 |
| ·光致发光谱 | 第66-68页 |
| ·退火对Zn_(1-x)Mg_xO薄膜性能的影响 | 第68-71页 |
| ·本章小结 | 第71-72页 |
| 第五章 ZnMgO/ZnO异质结的制备与表征 | 第72-76页 |
| ·ZnMgO/ZnO/ZnMgO双异质结的生长 | 第72-74页 |
| ·ZnO缓冲层上生长的ZnMgO/ZnO/ZnMgO异质结构 | 第74-75页 |
| ·本章小结 | 第75-76页 |
| 第六章 结论 | 第76-77页 |
| 参考文献 | 第77-82页 |
| 致谢 | 第82-83页 |
| 研究成果及发表的学术论文 | 第83页 |
| 作者简介 | 第83-84页 |
| 导师简介 | 第84-85页 |
| 北京化工大学硕士研究生学位论文答辩委员会决议书 | 第85-86页 |
