声表面波微驱动器及其应用
| 摘要 | 第1-8页 |
| ABSTRACT | 第8-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-30页 |
| ·声表面波技术的发展 | 第12-13页 |
| ·声表面波器件概述 | 第13-16页 |
| ·声表面波滤波器 | 第13-14页 |
| ·声表面波延迟线 | 第14-15页 |
| ·声表面波谐振器 | 第15-16页 |
| ·声表面波微驱动器的研究进展 | 第16-23页 |
| ·微流体处理 | 第16-20页 |
| ·固体驱动 | 第20-22页 |
| ·声表面波微驱动器总结 | 第22-23页 |
| ·微机电系统技术概述 | 第23-25页 |
| ·论文的结构安排 | 第25-26页 |
| 参考文献 | 第26-30页 |
| 第二章 声表面波微驱动器的理论分析 | 第30-41页 |
| ·体声波 | 第30-31页 |
| ·声表面波 | 第31-33页 |
| ·叉指换能器 | 第33-37页 |
| ·叉指换能器结构 | 第33-34页 |
| ·叉指换能器的工作原理 | 第34-35页 |
| ·叉指换能器的δ函数模型 | 第35-37页 |
| ·压电基片材料的选择 | 第37-39页 |
| ·本章小结 | 第39-40页 |
| 参考文献 | 第40-41页 |
| 第三章 声表面波微驱动器仿真 | 第41-49页 |
| ·声表面波微驱动器 MATLAB 仿真 | 第41-44页 |
| ·声表面波微驱动器有限元仿真 | 第44-48页 |
| ·有限元分析法介绍 | 第44-45页 |
| ·有限元软件ANSYS 概述 | 第45页 |
| ·声表面波微驱动器的有限元仿真过程 | 第45-48页 |
| ·本章小结 | 第48页 |
| 参考文献 | 第48-49页 |
| 第四章 声表面波微驱动器的制备工艺 | 第49-58页 |
| ·两种基本工艺过程 | 第50-55页 |
| ·干法刻蚀工艺 | 第50-51页 |
| ·剥离工艺 | 第51-53页 |
| ·两种工艺对比 | 第53-55页 |
| ·剥离工艺流程图 | 第55页 |
| ·声表面波微驱动器的样品图 | 第55-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-58页 |
| 第五章 声表面波微驱动器在微流体领域的应用研究 | 第58-75页 |
| ·声表面波在微流体介质中的传播原理 | 第58-59页 |
| ·声表面波微驱动器测试平台 | 第59-60页 |
| ·声表面波微驱动器在微混合领域的应用 | 第60-63页 |
| ·声表面波微驱动器在微流体驱动领域的应用 | 第63-67页 |
| ·声表面波微驱动器在雾化领域的应用 | 第67-72页 |
| ·雾化机理 | 第68-69页 |
| ·雾化实验 | 第69-70页 |
| ·结果讨论 | 第70页 |
| ·利用雾化器实现微胶囊模型 | 第70-72页 |
| ·本章小结 | 第72-73页 |
| 参考文献 | 第73-75页 |
| 第六章 声表面波微驱动器在固体驱动领域的应用研究 | 第75-82页 |
| ·声表面波固体驱动器工作原理 | 第75-76页 |
| ·声表面波固体驱动器的研究 | 第76-81页 |
| ·线性声表面波固体驱动器 | 第78-79页 |
| ·平面声表面波固体驱动器 | 第79-80页 |
| ·结果与讨论 | 第80-81页 |
| ·本章小结 | 第81页 |
| 参考文献 | 第81-82页 |
| 第七章 总结与展望 | 第82-84页 |
| ·总结 | 第82-83页 |
| ·展望 | 第83-84页 |
| 附录1 声表面波微驱动器的 APDL 仿真程序 | 第84-88页 |
| 致谢 | 第88-89页 |
| 攻读硕士学位期间已发表或录用的论文 | 第89页 |
| 攻读硕士学位期间申请的发明专利 | 第89页 |
