| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-8页 |
| 符号说明 | 第15-17页 |
| 第一章 绪论 | 第17-27页 |
| 1.1 研究背景和意义 | 第17-18页 |
| 1.2 微泵驱动技术国内外研究现状及发展趋势 | 第18-24页 |
| 1.2.1 微泵技术国外发展现状 | 第18-23页 |
| 1.2.2 微泵技术国内发展现状 | 第23页 |
| 1.2.3 压电微泵应用现状 | 第23-24页 |
| 1.3 本课题主要研究的内容 | 第24-27页 |
| 1.3.1 本课题的技术路线 | 第24-25页 |
| 1.3.2 主要研究内容 | 第25-27页 |
| 第二章 基于压电振子微泵驱动的机理研究 | 第27-41页 |
| 2.1 压电微泵工作原理 | 第27-31页 |
| 2.1.1 压电泵结构及工作状态 | 第27-28页 |
| 2.1.2 泵体 | 第28-29页 |
| 2.1.3 压电振子 | 第29-30页 |
| 2.1.4 单向阀 | 第30-31页 |
| 2.2 压电振子理论模型 | 第31-33页 |
| 2.2.1 压电振子理论挠度 | 第31-32页 |
| 2.2.2 微泵理论流量 | 第32-33页 |
| 2.2.3 压电振子理论压力 | 第33页 |
| 2.3 压电振子振动模态有限元分析 | 第33-40页 |
| 2.3.1 压电振子材料的确定 | 第34-35页 |
| 2.3.2 有限元建模及网格划分 | 第35页 |
| 2.3.3 压电振子的模态模拟分析 | 第35-37页 |
| 2.3.4 基于驱动信号输出形式的压电振子挠度变化的模拟分析 | 第37-40页 |
| 2.4 本章小结 | 第40-41页 |
| 第三章 压电微泵流量和脉冲驱动信号形式映射关系机理研究 | 第41-51页 |
| 3.1 压电振子驱动信号 | 第41-42页 |
| 3.2 微泵流量与脉冲驱动信号的映射机理的实验研究 | 第42-45页 |
| 3.2.1 实验设备 | 第43-44页 |
| 3.2.2 实验测试流程 | 第44-45页 |
| 3.3 实验结果及分析 | 第45-50页 |
| 3.3.1 控制信号频率与微泵流量关系 | 第45-47页 |
| 3.3.2 控制信号电压与微泵流量关系 | 第47-50页 |
| 3.4 本章小结 | 第50-51页 |
| 第四章 驱动控制系统设计 | 第51-63页 |
| 4.1 驱动系统设计参数要求 | 第51页 |
| 4.2 驱动系统硬件 | 第51-52页 |
| 4.3 驱动硬件设计 | 第52-58页 |
| 4.3.1 逆变模块 | 第52-56页 |
| 4.3.2 主控模块 | 第56-57页 |
| 4.3.3 采集反馈模块 | 第57-58页 |
| 4.3.4 电源及辅助模块 | 第58页 |
| 4.4 印制电路板(PCB)设计 | 第58-59页 |
| 4.5 驱动程序软件设计 | 第59-62页 |
| 4.6 本章小结 | 第62-63页 |
| 第五章 驱动系统仿真及实验验证 | 第63-71页 |
| 5.1 驱动系统软件仿真 | 第63-65页 |
| 5.2 输出信号验证 | 第65-67页 |
| 5.3 驱动器与微泵配合实验 | 第67-69页 |
| 5.4 本章小结 | 第69-71页 |
| 第六章 总结与展望 | 第71-73页 |
| 6.1 总结 | 第71页 |
| 6.2 本文创新之处 | 第71-72页 |
| 6.3 展望 | 第72-73页 |
| 参考文献 | 第73-79页 |
| 附录:驱动系统程序 | 第79-89页 |
| 致谢 | 第89-91页 |
| 研究成果及发表的学术论文 | 第91-93页 |
| 作者和导师简介 | 第93-94页 |
| 附件 | 第94-95页 |
