| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第9-15页 |
| 1.1 课题来源与研究目的和意义 | 第9-10页 |
| 1.2 国内外光刻机工件台系统的发展现状 | 第10-14页 |
| 1.2.1 国外光刻机工件台系统的发展现状 | 第10-12页 |
| 1.2.2 国内光刻机工件台系统发展现状 | 第12-14页 |
| 1.3 本文的主要研究内容 | 第14-15页 |
| 第2章 工件台气体静压润滑的静态特性分析 | 第15-25页 |
| 2.1 工件台直线运动系统的基本结构 | 第15页 |
| 2.2 气体静压润滑的工作原理 | 第15-16页 |
| 2.3 气体静压小孔节流器的静态理论计算 | 第16-18页 |
| 2.4 工件台气体静压润滑的静态特性计算与结果分析 | 第18-24页 |
| 2.4.1 气体静压润滑有限元模型的建立 | 第19页 |
| 2.4.2 气体静压润滑有限元模型的边界条件 | 第19-20页 |
| 2.4.3 FLUENT 对气体有限元模型的仿真计算 | 第20-23页 |
| 2.4.4 不同气膜厚度及供气压力下节流孔组的静态特性变化 | 第23-24页 |
| 2.5 本章小结 | 第24-25页 |
| 第3章 工件台直线运动系统的结构优化设计和动态特性分析 | 第25-50页 |
| 3.1 工件台直线运动系统部分结构的优化设计 | 第25-34页 |
| 3.1.1 拓扑优化 | 第25-30页 |
| 3.1.2 基于拓扑优化的参数化优化设计 | 第30-34页 |
| 3.2 工件台直线运动系统的有限元模型的建立 | 第34-35页 |
| 3.2.1 有限元分析模型的基本属性设置 | 第34页 |
| 3.2.2 网格划分 | 第34-35页 |
| 3.3 工件台直线运动系统的静力学分析 | 第35-40页 |
| 3.3.1 材料定义 | 第35-36页 |
| 3.3.2 运动工况分析 | 第36页 |
| 3.3.3 载荷及约束条件的确定 | 第36-37页 |
| 3.3.4 计算结果及分析 | 第37-39页 |
| 3.3.5 不同加速度下直线运动系统的静力学分析 | 第39-40页 |
| 3.4 工件台直线运动系统的动力学分析 | 第40-48页 |
| 3.4.1 直线运动系统的模态分析 | 第40-42页 |
| 3.4.2 直线运动系统的谐响应分析 | 第42-44页 |
| 3.4.3 直线运动系统的瞬态动力学分析 | 第44-48页 |
| 3.5 本章小结 | 第48-50页 |
| 第4章 工件台双台交换系统动态特性分析及方案设计 | 第50-66页 |
| 4.1 工件台双台交换系统有限元模型的建立 | 第50-51页 |
| 4.1.1 三维实体模型的建立 | 第50页 |
| 4.1.2 有限元分析模型的基本属性设置 | 第50-51页 |
| 4.1.3 网格划分 | 第51页 |
| 4.2 基于静力分析的双台交换系统的换台周期设计 | 第51-55页 |
| 4.2.1 运动工况和约束条件的确定 | 第51-52页 |
| 4.2.2 计算结果及分析 | 第52-53页 |
| 4.2.3 换台周期设计 | 第53-55页 |
| 4.3 工件台双台交换系统的动力学分析 | 第55-62页 |
| 4.3.1 双台交换系统的模态分析 | 第55-56页 |
| 4.3.2 双台交换系统的谐响应分析 | 第56-57页 |
| 4.3.3 双台交换系统的瞬态动力学分析 | 第57-62页 |
| 4.4 工件台双台交换系统的方案设计 | 第62-65页 |
| 4.4.1 双台交换系统的基本方案 | 第62-64页 |
| 4.4.2 双台交换系统的改进方案 | 第64-65页 |
| 4.5 本章小结 | 第65-66页 |
| 第5章 微动台 Chuck 和气浮导轨的模态实验 | 第66-74页 |
| 5.1 微动台 Chuck 的模态实验 | 第66-70页 |
| 5.1.1 微动台 Chuck 的模态分析 | 第66-68页 |
| 5.1.2 微动台 Chuck 的模态实验 | 第68-70页 |
| 5.2 X 向气浮导轨的模态实验 | 第70-73页 |
| 5.2.1 X 向气浮导轨的模态分析 | 第70-71页 |
| 5.2.2 X 向导轨的模态实验 | 第71-73页 |
| 5.3 本章小结 | 第73-74页 |
| 结论 | 第74-76页 |
| 参考文献 | 第76-81页 |
| 致谢 | 第81页 |
