| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-12页 |
| 1.1 引言 | 第8页 |
| 1.2 国内外研究进展及成果 | 第8-10页 |
| 1.3 研究目的与意义 | 第10-11页 |
| 1.4 研究内容 | 第11-12页 |
| 第2章 闭环微加速度计工作原理 | 第12-20页 |
| 2.1 引言 | 第12页 |
| 2.2 微加速度计的分类及性能指标介绍 | 第12-13页 |
| 2.2.1 微加速度计的分类 | 第12-13页 |
| 2.2.2 微加速度计性能指标介绍 | 第13页 |
| 2.3 微加速度计工作原理 | 第13-15页 |
| 2.4 差动电容检测原理 | 第15-18页 |
| 2.4.1 差动电容检测原理 | 第15-16页 |
| 2.4.2 常用电容检测电路 | 第16-18页 |
| 2.5 闭环微加速度计原理 | 第18-19页 |
| 2.5.1 微加速度计闭环系统 | 第18页 |
| 2.5.2 静电力反馈原理 | 第18-19页 |
| 2.5.3 常见闭环微加速度计反馈方式 | 第19页 |
| 2.6 本章小结 | 第19-20页 |
| 第3章 闭环微加速度计系统设计 | 第20-29页 |
| 3.1 引言 | 第20页 |
| 3.2 微加速度计电学模型的建立 | 第20-21页 |
| 3.3 系统线性模型建立及传递函数分析 | 第21-24页 |
| 3.3.1 表头部分 | 第22页 |
| 3.3.2 电信号传递部分 | 第22-24页 |
| 3.4 系统simulink模型的建立与仿真 | 第24-26页 |
| 3.5 系统噪声分析 | 第26-28页 |
| 3.5.1 机械噪声 | 第26-27页 |
| 3.5.2 电路噪声 | 第27-28页 |
| 3.6 总结 | 第28-29页 |
| 第4章 闭环微加速度计接口电路设计 | 第29-52页 |
| 4.1 引言 | 第29页 |
| 4.2 载波信号发生器设计 | 第29-31页 |
| 4.2.1 载波类型及其频率的确定 | 第29页 |
| 4.2.2 正弦波发生器的设计 | 第29-31页 |
| 4.3 信号检测模块设计 | 第31-42页 |
| 4.3.1 电荷敏感放大器的设计 | 第31-35页 |
| 4.3.2 高通滤波器分析及设计 | 第35-37页 |
| 4.3.3 开关相敏解调电路 | 第37-41页 |
| 4.3.4 低通滤波器的设计 | 第41-42页 |
| 4.4 PID反馈回路 | 第42-48页 |
| 4.4.1 PID控制原理 | 第42-44页 |
| 4.4.2 PI控制器参数整定（Matlab仿真分析） | 第44-48页 |
| 4.5 微加速度计整体电路仿真 | 第48-50页 |
| 4.6 总结 | 第50-52页 |
| 结论 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-58页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及其它成果 | 第58-60页 |
| 致谢 | 第60页 |