| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 1 绪论 | 第10-29页 |
| 1.1 引言 | 第10-12页 |
| 1.2 硅基光集成芯片的发展 | 第12-18页 |
| 1.3 硅基光集成芯片与光纤的耦合问题及国内外研究进展 | 第18-26页 |
| 1.4 本论文的主要研究内容及章节安排 | 第26-29页 |
| 2 光栅耦合器的工作原理、设计、制作及测试 | 第29-50页 |
| 2.1 光栅耦合器的工作原理 | 第29-33页 |
| 2.2 光栅耦合器的主要性能指标 | 第33-34页 |
| 2.3 光栅耦合器的设计 | 第34-42页 |
| 2.4 光栅耦合器的制作 | 第42-46页 |
| 2.5 光栅耦合器的测试 | 第46-49页 |
| 2.6 本章小结 | 第49-50页 |
| 3 光栅耦合器的尺寸减小 | 第50-66页 |
| 3.1 引言 | 第50-51页 |
| 3.2 汇聚型光栅耦合器 | 第51-57页 |
| 3.3 低损耗超短模斑转换器 | 第57-65页 |
| 3.4 本章小结 | 第65-66页 |
| 4 光栅耦合器的耦合效率提高 | 第66-90页 |
| 4.1 引言 | 第66-67页 |
| 4.2 变周期光栅耦合器 | 第67-74页 |
| 4.3 悬浮式光栅耦合器 | 第74-81页 |
| 4.4 低损耗氮化硅光栅耦合器 | 第81-89页 |
| 4.5 本章小结 | 第89-90页 |
| 5 二维光栅耦合器 | 第90-117页 |
| 5.1 引言 | 第90-93页 |
| 5.2 偏振无关的时钟恢复 | 第93-99页 |
| 5.3 倾斜耦合二维光栅耦合器 | 第99-104页 |
| 5.4 菱形分布二维光栅耦合器 | 第104-107页 |
| 5.5 汇聚型二维光栅耦合器 | 第107-110页 |
| 5.6 悬浮式二维光栅耦合器 | 第110-111页 |
| 5.7 低偏振相关二维光栅耦合器 | 第111-116页 |
| 5.8 本章小结 | 第116-117页 |
| 6 光栅耦合器的制作工艺简化 | 第117-128页 |
| 6.1 引言 | 第117-118页 |
| 6.2 单步刻蚀一维光栅耦合器 | 第118-123页 |
| 6.3 单步刻蚀二维光栅耦合器 | 第123-127页 |
| 6.4 本章小结 | 第127-128页 |
| 7 总结与展望 | 第128-131页 |
| 致谢 | 第131-133页 |
| 参考文献 | 第133-149页 |
| 附录1 攻读博士学位期间发表论文目录 | 第149-150页 |
| 附录2 论文缩写简表 | 第150页 |