柔性射频电感和互连线的设计制作及性能表征
| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-15页 |
| 1.1 课题的研究背景及意义 | 第9-10页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第10-14页 |
| 1.3 论文的研究内容及结构安排 | 第14-15页 |
| 第2章 柔性电子制作材料与工艺 | 第15-24页 |
| 2.1 柔性电子材料 | 第15-20页 |
| 2.1.1 衬底材料 | 第15-18页 |
| 2.1.2 导体材料 | 第18页 |
| 2.1.3 介质层材料 | 第18-19页 |
| 2.1.4 半导体材料 | 第19-20页 |
| 2.2 柔性电子薄膜转移制造工艺 | 第20-23页 |
| 2.3 本章小结 | 第23-24页 |
| 第3章 柔性螺旋电感的设计与制作 | 第24-45页 |
| 3.1 柔性螺旋电感的设计 | 第24-25页 |
| 3.2 版图绘制 | 第25-28页 |
| 3.3 工艺制作 | 第28-43页 |
| 3.3.1 M1层制作 | 第28-40页 |
| 3.3.2 Via层制作 | 第40-42页 |
| 3.3.3 M2层制作 | 第42-43页 |
| 3.4 本章小结 | 第43-45页 |
| 第4章 柔性螺旋电感的射频特性分析 | 第45-56页 |
| 4.1 射频电感的基本理论 | 第45-46页 |
| 4.2 螺旋电感性能指标 | 第46-49页 |
| 4.2.1 电感量 | 第47页 |
| 4.2.2 品质因数 | 第47-48页 |
| 4.2.3 自谐振频率 | 第48-49页 |
| 4.3 柔性螺旋电感的射频特性 | 第49-54页 |
| 4.4 本章小结 | 第54-56页 |
| 第5章 柔性互连线的设计制作及射频特性分析 | 第56-63页 |
| 5.1 柔性互连线的设计制作 | 第56-59页 |
| 5.1.1 柔性互连线设计 | 第56-57页 |
| 5.1.2 柔性互连线的版图绘制 | 第57-58页 |
| 5.1.3 柔性互联线的工艺制作 | 第58-59页 |
| 5.2 柔性互连线的射频特性分析 | 第59-62页 |
| 5.3 本章小结 | 第62-63页 |
| 第6章 总结和展望 | 第63-65页 |
| 参考文献 | 第65-69页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第69-70页 |
| 致谢 | 第70-71页 |
