| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 符号说明 | 第11-12页 |
| 第1章 绪论 | 第12-27页 |
| 1.1 课题研究背景 | 第12-14页 |
| 1.2 半固着磨粒加工方法 | 第14-15页 |
| 1.3 磨具磨钝和加工性能评价指标 | 第15-19页 |
| 1.3.1 磨具磨钝 | 第15-18页 |
| 1.3.2 磨具加工性能的评价指标 | 第18-19页 |
| 1.4 磨具形貌及表面磨耗检测 | 第19-25页 |
| 1.4.1 磨具形貌检测 | 第19-22页 |
| 1.4.2 磨具表面磨耗量检测 | 第22-25页 |
| 1.5 本课题的研究意义和主要研究内容 | 第25-27页 |
| 1.5.1 研究意义 | 第25页 |
| 1.5.2 主要研究内容 | 第25-27页 |
| 第2章 半固着磨具及其特性分析 | 第27-47页 |
| 2.1 半固着磨具的结构特点 | 第27-28页 |
| 2.2 半固着磨具制造 | 第28-32页 |
| 2.2.1 磨料的选择 | 第29-30页 |
| 2.2.2 结合剂的选择 | 第30-31页 |
| 2.2.3 成型工艺的选择 | 第31-32页 |
| 2.2.4 烘干固化工艺 | 第32页 |
| 2.3 半固着磨具特性分析 | 第32-42页 |
| 2.3.1 普通磨具特性 | 第33-35页 |
| 2.3.2 半固着磨具特性 | 第35-42页 |
| 2.4 半固着磨具"陷阱"效应 | 第42-46页 |
| 2.4.1 干式加工 | 第44-45页 |
| 2.4.2 湿式加工 | 第45-46页 |
| 2.5 本章小结 | 第46-47页 |
| 第3章 半固着磨具加工材料去除研究 | 第47-66页 |
| 3.1 半固着磨具加工材料去除机理 | 第47-52页 |
| 3.2 半固着磨具加工材料去除模型 | 第52-54页 |
| 3.2.1 Preston's方程 | 第52-53页 |
| 3.2.2 工件与磨具间接触力分布对工件加工表面影响的研究 | 第53页 |
| 3.2.3 工件材料去除模型 | 第53-54页 |
| 3.3 半固着磨具加工材料去除仿真分析 | 第54-61页 |
| 3.3.1 有限单元模型 | 第55-56页 |
| 3.3.2 仿真结果分析 | 第56-61页 |
| 3.4 半固着磨具研磨加工实验 | 第61-64页 |
| 3.4.1 磨具特性对半固着磨具研磨加工影响 | 第62-63页 |
| 3.4.2 载荷对半固着磨具研磨加工影响 | 第63页 |
| 3.4.3 相对速度对半固着磨具研磨加工影响 | 第63-64页 |
| 3.5 本章小结 | 第64-66页 |
| 第4章 工件运动方式对半固着磨具加工均匀性影响 | 第66-101页 |
| 4.1 平面研磨加工中磨具与工件相对运动方式 | 第66-70页 |
| 4.1.1 单面加工方式 | 第66-69页 |
| 4.1.2 双面加工方式 | 第69-70页 |
| 4.2 工件定偏心和不定偏心方式下研磨均匀性理论分析 | 第70-83页 |
| 4.2.1 工件定偏心运动方式研磨均匀性分析 | 第70-76页 |
| 4.2.2 工件不定偏心运动方式研磨均匀性分析 | 第76-83页 |
| 4.3 半固着磨具加工实验装置 | 第83-84页 |
| 4.3.1 工件主动驱动机构 | 第83页 |
| 4.3.2 工件摆动驱动机构 | 第83-84页 |
| 4.4 工件定偏心和不定偏心方式半固着磨具加工实验 | 第84-100页 |
| 4.4.1 条件、方法、结果 | 第84-90页 |
| 4.4.2 结果分析 | 第90-95页 |
| 4.4.3 结果对比 | 第95-100页 |
| 4.5 本章小结 | 第100-101页 |
| 第5章 半固着磨具加工性能失效分析 | 第101-121页 |
| 5.1 磨具加工性能的失效形式 | 第101-102页 |
| 5.2 半固着磨具加工性能的失效形式 | 第102-112页 |
| 5.2.1 半固着磨具干式研磨硅片 | 第103-107页 |
| 5.2.2 半固着磨具湿式研磨硅片 | 第107-109页 |
| 5.2.3 半固着磨具湿式研磨氮化硅 | 第109-112页 |
| 5.3 磨具特性对半固着磨具加工性能失效影响 | 第112-114页 |
| 5.3.1 半固着磨具磨料粒度影响 | 第112-113页 |
| 5.3.2 半固着磨具磨料质量比浓度影响 | 第113-114页 |
| 5.4 工艺参数对半固着磨具加工性能失效影响 | 第114-120页 |
| 5.4.1 条件、方法和结果 | 第114-115页 |
| 5.4.2 工艺参数影响分析 | 第115-120页 |
| 5.5 本章小结 | 第120-121页 |
| 第6章 结论与展望 | 第121-124页 |
| 6.1 结论 | 第121-122页 |
| 6.2 课题特色创新点 | 第122页 |
| 6.3 展望 | 第122-124页 |
| 参考文献 | 第124-132页 |
| 致谢 | 第132-133页 |
| 攻读学位期间参加的科研项目和成果 | 第133-135页 |
