| 文摘 | 第2-3页 |
| Abstract | 第3页 |
| 第1章 绪论 | 第6-16页 |
| 1.1 引言 | 第6页 |
| 1.2 熔丝技术分类及其发展趋势 | 第6-13页 |
| 1.2.1 Laser Fuse 激光熔丝 | 第7-10页 |
| 1.2.2 eFUSE | 第10-12页 |
| 1.2.3 eFUSE 的基本结构介绍 | 第12-13页 |
| 1.3 本文的研究思路以及所作的工作 | 第13-16页 |
| 第2章 现有eFUSE 技术介绍及参数分析 | 第16-27页 |
| 2.1 现有技术一 | 第16-18页 |
| 2.2 现有技术二 | 第18-20页 |
| 2.3 影响eFUSE 器件最终性能的主要参数分析 | 第20-26页 |
| 2.3.1 材料工艺因素 | 第21-25页 |
| 2.3.2 器件尺寸、几何形状、电极分布因素 | 第25页 |
| 2.3.3 编程条件因素 | 第25-26页 |
| 2.4 小结 | 第26-27页 |
| 第3章 高性能eFUSE 器件新结构设计 | 第27-36页 |
| 3.1 研发方案构建 | 第27-28页 |
| 3.2 第一轮wafer 制造流程中eFUSE 结构、尺寸以及版图设计 | 第28-32页 |
| 3.2.1 测试结构A 简介 | 第29-30页 |
| 3.2.2 测试结构B 简介 | 第30-31页 |
| 3.2.3 测试结构C 简介 | 第31-32页 |
| 3.3 器件工艺制造流程 | 第32-34页 |
| 3.4 小结 | 第34-36页 |
| 第4章 数据分析和结构筛选 | 第36-51页 |
| 4.1 熔丝测试方案设计 | 第36-37页 |
| 4.1.1 编程条件确定 | 第36-37页 |
| 4.1.2 初步测试方案 | 第37页 |
| 4.2 结果分析与讨论 | 第37-47页 |
| 4.2.1 数据和结果 | 第37-46页 |
| 4.2.2 讨论 | 第46-47页 |
| 4.3 优选结构设计和第二轮测试结果 | 第47-50页 |
| 4.4 小结 | 第50-51页 |
| 第5章 可靠性验证 | 第51-54页 |
| 5.1 引言 | 第51页 |
| 5.2 可靠性测试方案 | 第51-54页 |
| 第6章 结束语 | 第54-56页 |
| 6.1 本文工作的总结 | 第54页 |
| 6.2 下一步工作的展望 | 第54-56页 |
| 参考文献 | 第56-59页 |
| 致谢 | 第59-60页 |
| 附件 | 第60-65页 |
| 附件一 图目录 | 第60-62页 |
| 附件二 表目录 | 第62-63页 |
| 附件三 攻读学位期间发表的学术论文目录 | 第63-65页 |