| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 引言 | 第11-37页 |
| 1.1 ZnO材料的基本性质与研究进展 | 第12-20页 |
| 1.1.1 ZnO材料的基本性质 | 第12-15页 |
| 1.1.2 ZnO材料的研究热点及其进展 | 第15-20页 |
| 1.2 MgZnO合金材料的基本性质与研究进展 | 第20-28页 |
| 1.2.1 MgZnO材料的基本性质 | 第21-22页 |
| 1.2.2 p型MgZnO合金材料的研究进展 | 第22-26页 |
| 1.2.3 MgZnO/ZnO超晶格和量子阱的研究进展 | 第26-28页 |
| 1.3 MgZnO材料研究中存在的主要问题 | 第28页 |
| 1.4 论文的选题依据和研究内容 | 第28-30页 |
| 参考文献 | 第30-37页 |
| 第2章 MgZnO薄膜的制备技术和表征手段 | 第37-53页 |
| 2.1 MgZnO薄膜的生长设备 | 第37-40页 |
| 2.1.1 磁控溅射技术 | 第37-39页 |
| 2.1.2 退火设备 | 第39-40页 |
| 2.2 MgZnO薄膜的表征手段 | 第40-51页 |
| 2.2.1 X射线衍射谱(XRD) | 第40-42页 |
| 2.2.2 扫描电子显微镜(SEM)和X射线能量谱仪(EDS) | 第42-43页 |
| 2.2.3 X射线光电子能谱(XPS) | 第43-45页 |
| 2.2.4 霍尔效应测量 | 第45-46页 |
| 2.2.5 微区光致发光谱(PL) | 第46-47页 |
| 2.2.6 吸收和透射光谱 | 第47-48页 |
| 2.2.7 拉曼光谱 | 第48-51页 |
| 参考文献 | 第51-53页 |
| 第3章 N掺杂p型ZnO薄膜的制备和性能研究 | 第53-69页 |
| 3.1 N掺杂ZnO薄膜的制备 | 第53-54页 |
| 3.2 N掺杂ZnO薄膜的结构表征 | 第54-55页 |
| 3.3 氮流量比对ZnO薄膜中N的含量及化学状态的影响 | 第55-57页 |
| 3.4 氮流量比对ZnO薄膜电学性质的影响 | 第57-58页 |
| 3.5 氮流量比对ZnO薄膜光学性质的影响 | 第58-63页 |
| 3.5.1 氮流量比对ZnO薄膜光学带隙的影响 | 第58-59页 |
| 3.5.2 氮流量比对ZnO薄膜光致发光光谱的影响 | 第59-60页 |
| 3.5.3 氮流量比对ZnO薄膜Raman光谱的影响 | 第60-63页 |
| 3.6 本章小结 | 第63-65页 |
| 参考文献 | 第65-69页 |
| 第4章 N掺杂p型MgZnO薄膜的制备和性能研究 | 第69-89页 |
| 4.1 N掺杂MgZnO薄膜的制备 | 第69-70页 |
| 4.2 N掺杂p型MgZnO薄膜的性能研究 | 第70-79页 |
| 4.2.1 N掺杂MgZnO薄膜的组分和结构表征 | 第70-73页 |
| 4.2.2 N掺杂MgZnO薄膜的电学性质 | 第73-76页 |
| 4.2.3 N掺杂MgZnO薄膜的Raman光谱分析 | 第76-77页 |
| 4.2.4 N掺杂p型MgZnO薄膜的光学性质分析 | 第77-79页 |
| 4.3 退火温度对N掺杂MgZnO薄膜性能的影响 | 第79-86页 |
| 4.3.1 薄膜制备 | 第79-80页 |
| 4.3.2 退火温度对N掺杂MgZnO薄膜电学性质的影响 | 第80-81页 |
| 4.3.3 退火温度对N掺杂MgZnO薄膜结构的影响 | 第81-83页 |
| 4.3.4 退火温度对N掺杂MgZnO薄膜拉曼光谱的影响 | 第83-85页 |
| 4.3.5 退火温度对N掺杂MgZnO薄膜光致发光光谱的影响 | 第85-86页 |
| 4.4 本章小结 | 第86-87页 |
| 参考文献 | 第87-89页 |
| 第5章 Mg含量对N掺杂MgZnO的掺杂行为和电学性能的影响规律和机制 | 第89-107页 |
| 5.1 Mg含量对未掺杂MgZnO薄膜性能的影响 | 第89-96页 |
| 5.1.1 未掺杂MgZnO薄膜的制备 | 第89-90页 |
| 5.1.2 MgZnO薄膜的结构表征 | 第90-91页 |
| 5.1.3 MgZnO薄膜的电学性质 | 第91-92页 |
| 5.1.4 MgZnO薄膜的光学性质研究 | 第92-96页 |
| 5.2 Mg含量对N掺杂Mg_xZn_(1_x)O薄膜性能的影响 | 第96-104页 |
| 5.2.1 样品的制备 | 第96页 |
| 5.2.2 Mg对N掺杂MgXZn_(1-X)O薄膜结构的影响 | 第96-97页 |
| 5.2.3 Mg对N掺杂Mg_xZn_(1_x)O薄膜电学性能的影响 | 第97-98页 |
| 5.2.4 Mg对N掺杂Mg_xZn_(1-x)O薄膜的Raman光谱的影响 | 第98-99页 |
| 5.2.5 N掺杂Mg_xZn_(1-x)O薄膜的X射线光电子能谱分析 | 第99-100页 |
| 5.2.6 Mg对N掺杂Mg_xZn_(1-x)O薄膜的N的掺杂浓度和化学状态的影响 | 第100-104页 |
| 参考文献 | 第104-107页 |
| 第6章 结论 | 第107-109页 |
| 攻读博士期间发表的学术论文 | 第109-111页 |
| 致谢 | 第111-113页 |
| 作者简介 | 第113页 |
