| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-25页 |
| 1.1 飞秒激光概述 | 第9-11页 |
| 1.1.1 飞秒激光的产生和发展 | 第9-10页 |
| 1.1.2 飞秒激光的特点及应用 | 第10-11页 |
| 1.2 飞秒激光烧蚀加工及其研究现状 | 第11-22页 |
| 1.2.1 飞秒激光烧蚀加工的独特优势 | 第11-15页 |
| 1.2.2 飞秒激光烧蚀石英玻璃国内外研究进展 | 第15-22页 |
| 1.3 本课题研究背景及主要工作 | 第22-25页 |
| 1.3.1 研究背景 | 第22-23页 |
| 1.3.2 工作内容及技术路线 | 第23-25页 |
| 2 飞秒激光烧蚀石英玻璃物理过程模拟分析 | 第25-41页 |
| 2.1 飞秒激光烧蚀透明电介质材料机理 | 第25-28页 |
| 2.1.1 雪崩电离机理和多光子电离机理 | 第25-27页 |
| 2.1.2 飞秒激光材料去除机理 | 第27-28页 |
| 2.2 飞秒激光烧蚀石英玻璃模拟计算分析 | 第28-40页 |
| 2.2.1 雪崩电离系数 | 第29-32页 |
| 2.2.2 多光子电离系数 | 第32-34页 |
| 2.2.3 烧蚀阈值计算分析 | 第34-36页 |
| 2.2.4 烧蚀深度计算分析 | 第36-38页 |
| 2.2.5 烧蚀体积计算分析 | 第38-40页 |
| 2.3 本章小结 | 第40-41页 |
| 3 飞秒激光烧蚀石英玻璃表面形貌特征分析 | 第41-66页 |
| 3.1 实验研究方案 | 第41-44页 |
| 3.1.1 实验设备 | 第41-42页 |
| 3.1.2 实验材料 | 第42-43页 |
| 3.1.3 实验方法 | 第43页 |
| 3.1.4 检测手段 | 第43-44页 |
| 3.2 点烧蚀形貌特征及烧蚀直径分析 | 第44-46页 |
| 3.2.1 点烧蚀形貌特征 | 第44-45页 |
| 3.2.2 激光功率和脉冲数目对烧蚀直径的影响 | 第45-46页 |
| 3.3 线烧蚀表面形貌特征分析 | 第46-56页 |
| 3.3.1 扫描速度对线、圆偏振光烧蚀线表面形貌的影响 | 第46-49页 |
| 3.3.2 激光功率对线、圆偏振光烧蚀线表面形貌的影响 | 第49-51页 |
| 3.3.3 烧蚀线侧壁形貌特征分析 | 第51-52页 |
| 3.3.4 线、圆偏振光对烧蚀线宽度的影响 | 第52-53页 |
| 3.3.5 线、圆偏振光对横截面特征及烧蚀深度的影响 | 第53-56页 |
| 3.4 面烧蚀形貌特征及表面粗糙度分析 | 第56-64页 |
| 3.4.1 线重叠率对线、圆偏振光烧蚀表面形貌的影响 | 第56-58页 |
| 3.4.2 线、圆偏振光烧蚀表面粗糙度检测分析 | 第58-62页 |
| 3.4.3 表面粗糙度计算分析及实验验证 | 第62-64页 |
| 3.5 本章小结 | 第64-66页 |
| 4 石英玻璃烧蚀表面HF腐蚀形貌特征分析及粗糙度检测 | 第66-79页 |
| 4.1 HF腐蚀石英玻璃机理 | 第66-67页 |
| 4.2 腐蚀时间对烧蚀表面形貌特征的影响 | 第67-74页 |
| 4.2.1 腐蚀时间对线偏振光烧蚀表面形貌的影响 | 第67-72页 |
| 4.2.2 腐蚀时间对圆偏振光烧蚀表面形貌的影响 | 第72-74页 |
| 4.3 烧蚀表面腐蚀后粗糙度检测分析 | 第74-77页 |
| 4.3.1 线偏振光烧蚀面腐蚀后粗糙度检测分析 | 第74-76页 |
| 4.3.2 圆偏振光烧蚀面腐蚀后粗糙度检测分析 | 第76-77页 |
| 4.4 本章小结 | 第77-79页 |
| 结论 | 第79-81页 |
| 参考文献 | 第81-86页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第86-87页 |
| 致谢 | 第87-88页 |
