| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第8-14页 |
| 1.1 MEMS 技术概述 | 第8-10页 |
| 1.1.1 MEMS 的定义、特点及应用 | 第8-9页 |
| 1.1.2 MEMS 的发展与前景 | 第9-10页 |
| 1.2 微型执行器概述 | 第10-11页 |
| 1.3 微执行器 Pull-in 现象 | 第11-12页 |
| 1.3.1 静态 Pull-in 现象 | 第11-12页 |
| 1.3.2 动态 Pull-in 现象 | 第12页 |
| 1.4 主要研究内容与创新点 | 第12-14页 |
| 第二章 磁微执行器静态 Pull-in 现象 | 第14-21页 |
| 2.1 模型结构及静态 Pull-in 现象 | 第14-15页 |
| 2.2 ANSYS 仿真 | 第15-20页 |
| 2.2.1 ANSYS 简介 | 第15-16页 |
| 2.2.2 静态 ANSYS 仿真 | 第16-20页 |
| 2.3 本章小结 | 第20-21页 |
| 第三章 活动板垂直于固定板运动式磁微执行器的动态 Pull-in 现象 | 第21-39页 |
| 3.1 模型结构及动态 Pull-in 现象 | 第21-22页 |
| 3.2 忽略磁芯磁阻的动态 Pull-in 现象 | 第22-25页 |
| 3.2.1 能量法求解与算例分析 | 第22-25页 |
| 3.2.2 磁微执行器与静电微执行器结果的对比 | 第25页 |
| 3.3 考虑磁芯磁阻的动态 Pull-in 现象 | 第25-31页 |
| 3.3.1 考虑磁芯磁阻与忽略磁芯磁阻结果的比较 | 第27-28页 |
| 3.3.2 磁微执行器静态与动态 Pull-in 结果的比较 | 第28-29页 |
| 3.3.3 磁芯总长度对 Pull-in 参数的影响 | 第29-31页 |
| 3.4 考虑漏磁阻的动态 Pull-in 现象 | 第31-34页 |
| 3.4.1 考虑漏磁阻与忽略漏磁阻结果的比较 | 第32-33页 |
| 3.4.2 初始间距对动态 Pull-in 参数的影响 | 第33-34页 |
| 3.5 模型仿真 | 第34-38页 |
| 3.6 本章小结 | 第38-39页 |
| 第四章 多级弯曲磁微执行器的动态 Pull-in 现象 | 第39-55页 |
| 4.1 模型结构和动态 Pull-in 现象 | 第39-40页 |
| 4.2 忽略磁芯磁阻的动态 Pull-in 现象 | 第40-44页 |
| 4.3 考虑磁芯磁阻的动态 Pull-in 现象 | 第44-48页 |
| 4.3.1 考虑磁芯磁阻与忽略磁芯磁阻结果的比较 | 第46-47页 |
| 4.3.2 悬臂梁长度对动态 Pull-in 参数的影响 | 第47-48页 |
| 4.4 考虑漏磁阻的动态 Pull-in 现象 | 第48-53页 |
| 4.4.1 考虑漏磁阻与忽略漏磁阻结果的比较 | 第51-52页 |
| 4.4.2 初始间距对动态 Pull-in 参数的影响 | 第52-53页 |
| 4.5 本章小结 | 第53-55页 |
| 第五章 总结与展望 | 第55-57页 |
| 5.1 工作总结 | 第55-56页 |
| 5.2 工作展望 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-60页 |
| 附录 1 攻读硕士学位期间撰写的论文 | 第60-61页 |
| 致谢 | 第61页 |
