大型真空调试平台的设计及其误差建模分析
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-14页 |
| 1.1 课题研究背景和意义 | 第8页 |
| 1.2 国内外测试转台的研究现状 | 第8-11页 |
| 1.2.1 国外测试转台的研究现状 | 第8-9页 |
| 1.2.2 国内测试转台的研究现状 | 第9-11页 |
| 1.3 多体系统几何精度建模理论的研究概况 | 第11-12页 |
| 1.3.1 精密机床几何精度建模理论的发展 | 第11页 |
| 1.3.2 多轴转台几何精度建模理论的发展 | 第11-12页 |
| 1.4 本文主要研究内容 | 第12-14页 |
| 第2章 大型真空调试平台的总体结构设计 | 第14-20页 |
| 2.1 大型真空调试平台技术指标 | 第14页 |
| 2.2 大型真空调试平台总体方案设计 | 第14-15页 |
| 2.3 大型真空调试平台机械结构设计 | 第15-17页 |
| 2.3.1 框架结构设计 | 第15-16页 |
| 2.3.2 驱动方案设计 | 第16页 |
| 2.3.3 测量元件选择 | 第16-17页 |
| 2.4 机械结构设计的难点及解决方案 | 第17-19页 |
| 2.4.1 金属材料的选择 | 第17页 |
| 2.4.2 冷焊效应 | 第17-18页 |
| 2.4.3 热控系统的设计 | 第18-19页 |
| 2.5 本章小结 | 第19-20页 |
| 第3章 大型真空调试平台的框架结构优化设计 | 第20-27页 |
| 3.1 机械结构优化设计的理论基础 | 第20-21页 |
| 3.1.1 优化设计概述 | 第20页 |
| 3.1.2 基于 ANSYS 优化设计的分类 | 第20-21页 |
| 3.2 大型真空调试平台的拓扑优化设计 | 第21-24页 |
| 3.2.1 拓扑优化设计步骤 | 第21页 |
| 3.2.2 底座拓扑结构优化设计 | 第21-24页 |
| 3.3 大型真空调试平台的尺寸优化设计 | 第24-26页 |
| 3.3.1 尺寸优化设计步骤 | 第24页 |
| 3.3.2 水平移动平台的尺寸优化设计 | 第24-26页 |
| 3.4 本章小结 | 第26-27页 |
| 第4章 大型真空调试平台的误差建模与分析 | 第27-48页 |
| 4.1 多体系统误差分析与建模的运动学理论基础 | 第27-32页 |
| 4.1.1 多体系统几何结构描述方法 | 第27-28页 |
| 4.1.2 多体系统特征变换矩阵描述方法 | 第28-31页 |
| 4.1.3 多体系统误差模型的建立 | 第31-32页 |
| 4.2 大型真空调试平台的误差源分析 | 第32-33页 |
| 4.3 大型真空调试平台坐标系的建立 | 第33-36页 |
| 4.4 位姿误差模型的建立 | 第36-40页 |
| 4.4.1 姿态误差模型的推导 | 第39页 |
| 4.4.2 位置误差模型的推导 | 第39-40页 |
| 4.5 误差模型的仿真分析 | 第40-46页 |
| 4.5.1 姿态误差模型的仿真分析 | 第40-42页 |
| 4.5.2 位置误差模型的仿真分析 | 第42-46页 |
| 4.6 误差模型分析对结构设计的指导 | 第46-47页 |
| 4.7 本章小结 | 第47-48页 |
| 第5章 大型真空调试平台的测试与分析 | 第48-55页 |
| 5.1 大型真空调试平台轴系回转精度测试 | 第48-51页 |
| 5.1.1 回转精度的测试方法及原理 | 第48-50页 |
| 5.1.2 俯仰轴回转精度测试 | 第50页 |
| 5.1.3 方位轴回转精度测试 | 第50-51页 |
| 5.2 大型真空调试平台直线度测试 | 第51-54页 |
| 5.2.1 直线度的测试方法及原理 | 第51-52页 |
| 5.2.2 水平移动直线度测试 | 第52-53页 |
| 5.2.3 竖直移动直线度测试 | 第53-54页 |
| 5.3 本章小结 | 第54-55页 |
| 结论 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-61页 |
| 致谢 | 第61页 |
