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多物理场仿真方法及其在微纳器件结构中的应用研究

致谢第5-6页
摘要第6-7页
ABSTRACT第7-8页
1 绪论第11-15页
    1.1 课题研究背景第11-12页
    1.2 国内外研究动态第12-14页
    1.3 研究方法概述第14页
    1.4 本文研究内容第14-15页
2 时域有限元方法(FEM)概述和相关控制方程第15-27页
    2.1 时域有限元方法(FEM)的基本原理第15-21页
        2.1.1 分原理和里兹方法第15-17页
        2.1.2 伽辽金方法第17-18页
        2.1.3 有限元方法的一般步骤第18-21页
    2.2 多物理场相关控制方程第21-26页
        2.2.1 无源器件相关方程第21-24页
        2.2.2 有源器件相关方程第24-25页
        2.2.3 非线性场间的耦合第25-26页
    2.3 本章小结第26-27页
3 铜-石墨烯异质互连线建模仿真研究第27-41页
    3.1 铜-石墨烯异质互连线的高频电学建模第27-33页
        3.1.1 铜-石墨烯异质互连线模型的电学建模过程第27-29页
        3.1.2 相关计算结果第29-33页
    3.2 铜-石墨烯异质互连线的电-热特性仿真第33-40页
        3.2.1 铜-石墨烯异质互连线仿真模型及相关参数说明第33-35页
        3.2.2 电-热响应结果分析第35-40页
    3.3 本章小结第40-41页
4 LDMOSFET电-热-力仿真研究第41-53页
    4.1 LDMOSFET相关介绍第41-43页
    4.2 低频电磁脉冲注入效应第43-47页
    4.3 高频组合式电磁脉冲注入效应第47-52页
    4.4 本章小结第52-53页
5 氮化镓晶体管的热-应力特性研究第53-73页
    5.1 GANHEMT相关介绍第53-60页
        5.1.1 相关背景和模型介绍第53-56页
        5.1.2 验证例子第56-60页
    5.2 GANHEMT热-力特性研究第60-65页
        5.2.1 稳态仿真结果第61-63页
        5.2.2 瞬态仿真结果第63-65页
    5.3 金刚石散热片对ALGAN/GANHEMT热-力特性的影响第65-71页
        5.3.1 稳态仿真结果第67-70页
        5.3.2 瞬态仿真结果第70-71页
    5.4 本章小结第71-73页
6 总结与展望第73-74页
    6.1 全文总结第73页
    6.2 后续展望第73-74页
参考文献第74-81页
作者简介第81页

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