沿面放电等离子体接地电极优化及双频容性耦合供电方法研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第10-23页 |
| 1.1 研究背景 | 第10页 |
| 1.2 等离子体概述 | 第10-12页 |
| 1.2.1 等离子体的分类 | 第10-11页 |
| 1.2.2 等离子体的应用 | 第11-12页 |
| 1.3 介质阻挡放电简介 | 第12-17页 |
| 1.3.1 常见气体放电形式 | 第12-14页 |
| 1.3.2 介质阻挡放电分类 | 第14-16页 |
| 1.3.3 沿面型介质阻挡放电的机理 | 第16页 |
| 1.3.4 沿面型介质阻挡放电的研究进展 | 第16-17页 |
| 1.4 双频容性耦合等离子体研究现状 | 第17-21页 |
| 1.4.1 双频容性耦合等离子体 | 第17-19页 |
| 1.4.2 双频容性耦合等离子体的特性 | 第19-20页 |
| 1.4.3 双频容性耦合等离子体的研究进展 | 第20-21页 |
| 1.5 研究意义和研究内容 | 第21-23页 |
| 1.5.1 研究意义 | 第21-22页 |
| 1.5.2 研究内容 | 第22-23页 |
| 2 实验装置与分析测试方法 | 第23-29页 |
| 2.1 引言 | 第23页 |
| 2.2 实验系统 | 第23-25页 |
| 2.2.1 实验电源 | 第24页 |
| 2.2.2 放电电极系统 | 第24页 |
| 2.2.3 测试系统 | 第24-25页 |
| 2.3 实验材料 | 第25-26页 |
| 2.3.1 实验仪器 | 第25-26页 |
| 2.3.2 实验试剂 | 第26页 |
| 2.4 实验分析测量方法 | 第26-28页 |
| 2.4.1 功率测量 | 第26-27页 |
| 2.4.2 臭氧浓度测量 | 第27-28页 |
| 2.4.3 发射光谱测量 | 第28页 |
| 2.5 本章小结 | 第28-29页 |
| 3 沿面型介质阻挡放电接地电极优化 | 第29-39页 |
| 3.1 引言 | 第29页 |
| 3.2 接地电极结构对放电的影响 | 第29-32页 |
| 3.2.1 实验装置 | 第29-31页 |
| 3.2.2 带式电极与面式电极比较 | 第31-32页 |
| 3.3 带式接地电极优化 | 第32-37页 |
| 3.3.1 实验装置 | 第32-34页 |
| 3.3.2 同位电极与异位电极放电特性对比 | 第34页 |
| 3.3.3 异位电极情况下电极间距优化 | 第34-37页 |
| 3.4 本章小结 | 第37-39页 |
| 4 双频容性耦合供电方法研究 | 第39-53页 |
| 4.1 引言 | 第39页 |
| 4.2 实验装置 | 第39-40页 |
| 4.3 双频容性耦合供电的放电特性 | 第40-43页 |
| 4.4 单频供电下频率对放电特性的影响 | 第43-46页 |
| 4.4.1 两种电压频率下的电流分析 | 第43-44页 |
| 4.4.2 对放电功率的影响 | 第44-45页 |
| 4.4.3 对活性物质生成的影响 | 第45-46页 |
| 4.5 双频供电下低频对放电特性的影响 | 第46-49页 |
| 4.5.1 发射光谱分析 | 第46-47页 |
| 4.5.2 对活性物质生成的影响 | 第47-49页 |
| 4.6 双频供电下高频对放电特性的影响 | 第49-51页 |
| 4.6.1 发射光谱分析 | 第49-50页 |
| 4.6.2 对活性物质生成的影响 | 第50-51页 |
| 4.7 本章小结 | 第51-53页 |
| 5 带式接地电极放电装置双频容性耦合供电研究 | 第53-57页 |
| 5.1 引言 | 第53页 |
| 5.2 实验装置 | 第53-54页 |
| 5.3 优化前后活性物质生成情况比较 | 第54-56页 |
| 5.4 本章小结 | 第56-57页 |
| 6 结论与展望 | 第57-58页 |
| 6.1 结论 | 第57页 |
| 6.2 展望 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-62页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第62-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
