半导体气体传感器及加热温度调制系统研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-16页 |
| 1.1 课题研究的背景及意义 | 第10-11页 |
| 1.2 国内外相关领域的研究现状 | 第11-15页 |
| 1.2.1 可燃性气体传感器研究现状 | 第11-12页 |
| 1.2.2 半导体气体传感器温度调制技术研究现状 | 第12-14页 |
| 1.2.3 气体传感器信号处理算法研究现状 | 第14-15页 |
| 1.3 课题来源及主要研究内容 | 第15-16页 |
| 1.3.1 课题来源 | 第15页 |
| 1.3.2 本文研究的主要内容 | 第15-16页 |
| 第2章 气体传感器结构设计及工艺制备 | 第16-22页 |
| 2.1 半导体气体传感器设计 | 第16-17页 |
| 2.1.1 传感器结构设计 | 第16页 |
| 2.1.2 气体传感器制备工艺 | 第16-17页 |
| 2.2 SnO_2气敏机理与材料合成 | 第17-20页 |
| 2.2.1 SnO_2气敏材料敏感机理 | 第17-19页 |
| 2.2.2 SnO_2气敏材料的合成 | 第19-20页 |
| 2.3 传感器温度特性测试 | 第20-21页 |
| 2.4 本章小结 | 第21-22页 |
| 第3章 加热温度调制系统硬件电路设计 | 第22-33页 |
| 3.1 加热温度调制系统硬件设计方案 | 第22-23页 |
| 3.2 加热温度调制波形硬件电路设计 | 第23-26页 |
| 3.2.1 温度调制波形发生电路 | 第23-24页 |
| 3.2.2 比例运算及功率放大电路 | 第24-26页 |
| 3.3 传感器信号检测电路设计 | 第26-31页 |
| 3.3.1 传感器信号调理电路 | 第26-27页 |
| 3.3.2 限幅电路 | 第27-28页 |
| 3.3.3 信号滤波电路 | 第28-29页 |
| 3.3.4 微处理器最小系统 | 第29-30页 |
| 3.3.5 串口通信与液晶显示电路设计 | 第30-31页 |
| 3.4 系统电源电路设计 | 第31-32页 |
| 3.5 本章小结 | 第32-33页 |
| 第4章 系统固件程序及上位机软件设计 | 第33-42页 |
| 4.1 系统软件总体设计 | 第33-34页 |
| 4.2 系统固件程序设计 | 第34-37页 |
| 4.2.1 温度调制波形程序 | 第34-35页 |
| 4.2.2 数据采集与处理程序 | 第35-36页 |
| 4.2.3 串口数据通信程序 | 第36-37页 |
| 4.3 上位机软件设计 | 第37-41页 |
| 4.3.1 上位机软件总体设计 | 第37-39页 |
| 4.3.2 数据通信子VI设计 | 第39页 |
| 4.3.3 数据处理子VI设计 | 第39-40页 |
| 4.3.4 上位机交互界面设计 | 第40-41页 |
| 4.4 本章小结 | 第41-42页 |
| 第5章 温度调制系统测试与数据分析 | 第42-55页 |
| 5.1 温度调制波形测试 | 第42-44页 |
| 5.2 气体传感器静态特性测试 | 第44-46页 |
| 5.2.1 系统测试方案设计 | 第44-45页 |
| 5.2.2 传感器响应-恢复特性 | 第45页 |
| 5.2.3 传感器灵敏度特性 | 第45-46页 |
| 5.3 CH_4/CO温度调制测试及数据分析 | 第46-54页 |
| 5.3.1 方波调制实验结果分析 | 第46-49页 |
| 5.3.2 正弦波调制实验结果分析 | 第49-52页 |
| 5.3.3 正弦波/方波温度调制结果对比分析 | 第52-54页 |
| 5.4 本章小结 | 第54-55页 |
| 结论 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-60页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第60-61页 |
| 致谢 | 第61页 |
