MEMS数字检波器结构与原理研究

摘要	第1-4页
ABSTRACT	第4-6页
第一章 前言	第6-13页
·MEMS 检波器简介	第6-9页
·MEMS 国内外研究现状	第9-11页
·技术路线	第11-13页
第二章 MEMS 传感器结构及原理分析	第13-35页
·MEMS 传感器概述	第13-15页
·基本电路原理	第13-14页
·MEMS 机械系统结构分析	第14-15页
·MEMS 传感器工作原理分析	第15-20页
·沿工作轴方向的测量	第16-19页
·倾斜方向测量	第19-20页
·ASIC 电路分析	第20-24页
·∑ΔA/D 转换器分析	第24-35页
·ΣΔA/D 特点	第24页
·ΣΔA/D 转换器结构与基本工作原理	第24-25页
·过采样技术	第25-26页
·ΣΔA/D 调制器的噪声整形作用	第26-31页
·数字抽取滤波器	第31-35页
第三章 MEMS 与传统地震检波器的性能对比	第35-41页
·MEMS 地震检波器	第35-36页
·MEMS 涉及的基础性研究	第35-36页
·MEMS 的发展前景	第36页
·传统地震检波器	第36-38页
·MEMS 与传统地震检波器的性能对比	第38-41页
第四章 MEMS 检波器的技术指标	第41-45页
·MEMS 检波器动态指标	第41-42页
·动态范围	第41页
·频率范围	第41页
·失真度	第41-42页
·MEMS 检波器静态特性指标	第42-45页
·灵敏度	第42页
·非线性	第42-43页
·热稳定性	第43-45页
第五章 结论	第45-46页
致谢	第46-47页
参考文献	第47-49页
攻读硕士学位期间发表的论文	第49-50页
详细摘要	第50-56页