| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-6页 |
| 目录 | 第6-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-17页 |
| ·引言 | 第9页 |
| ·精密定位平台的研究现状 | 第9-14页 |
| ·定位平台研究现状 | 第9-13页 |
| ·精密定位关键技术 | 第13-14页 |
| ·课题研究的目的和意义 | 第14-15页 |
| ·精密定位系统应用 | 第14-15页 |
| ·研究的目的和意义 | 第15页 |
| ·论文研究的主要内容 | 第15-17页 |
| 第二章 基于柔顺并联机构的三自由度精密定位平台理论基础 | 第17-30页 |
| ·引言 | 第17页 |
| ·精密定位平台系统 | 第17-18页 |
| ·基于柔顺并联机构的精密定位平台构型 | 第18-20页 |
| ·柔性铰链替代法 | 第18-19页 |
| ·基于柔顺并联机构的精密定位平台构型 | 第19-20页 |
| ·柔性铰链 | 第20-22页 |
| ·柔性运动副 | 第20-21页 |
| ·柔性铰链材料及加工 | 第21-22页 |
| ·精密定位平台构型 | 第22-25页 |
| ·螺旋理论 | 第22-24页 |
| ·三自由度并联机构构型设计 | 第24-25页 |
| ·精密定位平台刚度特性 | 第25-29页 |
| ·刚度及柔度 | 第25页 |
| ·柔性铰链刚度 | 第25-28页 |
| ·精密定位平台刚度模型的建立 | 第28-29页 |
| ·小结 | 第29-30页 |
| 第三章 空间3-RPC型柔顺微动精密定位平台的设计与仿真 | 第30-42页 |
| ·引言 | 第30页 |
| ·3-RPC型柔顺并联机构研究 | 第30-32页 |
| ·3-RPC并联机构构型 | 第30-31页 |
| ·自由度及约束分析 | 第31-32页 |
| ·基于3-RPC型并联机构的精密定位平台设计 | 第32-33页 |
| ·精密定位平台静力学仿真及刚度分析 | 第33-41页 |
| ·有限元分析法 | 第33-34页 |
| ·精密定位平台机构静刚度仿真 | 第34-35页 |
| ·刚度计算 | 第35-36页 |
| ·精密定位平台静力分析 | 第36-41页 |
| ·小结 | 第41-42页 |
| 第四章 3-RPC型精密定位平台控制系统研究 | 第42-55页 |
| ·引言 | 第42页 |
| ·精密定位平台硬件系统 | 第42-45页 |
| ·压电陶瓷驱动器 | 第43页 |
| ·压电陶瓷控制器 | 第43-44页 |
| ·数据采集及检测装置 | 第44-45页 |
| ·隔振装置 | 第45页 |
| ·精密定位平台驱动系统建模 | 第45-49页 |
| ·驱动器工作原理及其特性 | 第45-47页 |
| ·压电陶瓷传递函数 | 第47-48页 |
| ·控制器传递函数 | 第48页 |
| ·精密定位平台控制系统传递函数 | 第48-49页 |
| ·精密定位平台控制 | 第49-53页 |
| ·PID控制原理 | 第49-51页 |
| ·PID参数整定 | 第51页 |
| ·定位平台PID控制系统设计 | 第51-52页 |
| ·仿真分析 | 第52-53页 |
| ·小结 | 第53-55页 |
| 第五章 精密定位平台实验分析 | 第55-61页 |
| ·引言 | 第55页 |
| ·驱动器测试实验 | 第55-56页 |
| ·精密定位平台精度测试 | 第56-58页 |
| ·定位精度及误差分析 | 第58-60页 |
| ·小结 | 第60-61页 |
| 第六章 总结与体会 | 第61-63页 |
| ·全文总结 | 第61-62页 |
| ·体会 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-65页 |
| 致谢 | 第65-66页 |
| 在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第66-67页 |