| 摘要 | 第1-8页 |
| Abstract | 第8-10页 |
| 目录 | 第10-14页 |
| 图目录 | 第14-17页 |
| 表目录 | 第17-18页 |
| 第一章 绪论 | 第18-32页 |
| ·研究背景及意义 | 第18-25页 |
| ·生物传感器 | 第18-20页 |
| ·生物传感器的传感原理 | 第18-19页 |
| ·生物传感器的分类 | 第19-20页 |
| ·压电生物传感器 | 第20-24页 |
| ·声表面波传感器 | 第21-22页 |
| ·石英晶体微天平 | 第22-24页 |
| ·FBAR生物传感器 | 第24-25页 |
| ·国内外研究进展 | 第25-28页 |
| ·FBAR谐振器研究历史 | 第25-26页 |
| ·FBAR滤波器研究现状 | 第26-27页 |
| ·FBAR传感器研究现状 | 第27-28页 |
| ·论文主要研究内容及创新点 | 第28-32页 |
| ·论文主要研究内容 | 第28-29页 |
| ·论文章节安排 | 第29-30页 |
| ·论文创新点 | 第30-32页 |
| 第二章 薄膜体声波谐振器 | 第32-50页 |
| ·晶体的弹性及介电性 | 第32-36页 |
| ·晶体的弹性 | 第32-35页 |
| ·应力张量 | 第32-33页 |
| ·应变张量 | 第33-34页 |
| ·弹性关系 | 第34-35页 |
| ·晶体的介电性 | 第35-36页 |
| ·压电效应 | 第36-39页 |
| ·压电效应的产生 | 第36-37页 |
| ·压电方程 | 第37-39页 |
| ·正压电效应 | 第37页 |
| ·逆压电效应 | 第37页 |
| ·四类压电方程 | 第37-39页 |
| ·FBAR工作原理 | 第39-41页 |
| ·FBAR的典型结构 | 第41-43页 |
| ·体硅刻蚀结构FBAR | 第41-42页 |
| ·空腔结构FBAR | 第42页 |
| ·布拉格结构FBAR | 第42-43页 |
| ·适用于FBAR的材料分析对比 | 第43-45页 |
| ·FBAR的制备 | 第45-48页 |
| ·MEMS工艺简介 | 第45页 |
| ·压电薄膜的制备 | 第45-46页 |
| ·FBAR器件的制备 | 第46-48页 |
| ·本章小结 | 第48-50页 |
| 第三章 基于c轴垂直取向的纵波模式FBAR传感器 | 第50-78页 |
| ·FBAR传感器原理 | 第50-51页 |
| ·FBAR传感器理论推导 | 第51-66页 |
| ·FBAR MASON等效模型 | 第51-57页 |
| ·FBAR传感器五层结构模型理论推导 | 第57-66页 |
| ·理想FBAR电学输入阻抗 | 第57-60页 |
| ·五层结构FBAR传感器 | 第60-66页 |
| ·FBAR传感器质量负载层材料属性对其谐振特性的影响 | 第66-69页 |
| ·质量负载层材料的影响 | 第66-67页 |
| ·质量负载层材料厚度的影响 | 第67-69页 |
| ·不同负载材料FBAR传感器的质量灵敏度分析 | 第69-71页 |
| ·FBAR传感器在液相环境中的特性 | 第71-75页 |
| ·FBAR传感器液相环境下的阻抗特性 | 第71-73页 |
| ·微流体结构FBAR传感器特性 | 第73-75页 |
| ·本章小结 | 第75-78页 |
| 第四章 基于c轴倾斜取向的双模式FBAR传感器 | 第78-112页 |
| ·坐标变换 | 第78-83页 |
| ·c轴倾斜FBAR中存在的声波模式 | 第83-91页 |
| ·理想状态下c轴倾斜FBAR特性分析 | 第91-103页 |
| ·理想状态下c轴倾斜FBAR的Mason等效模型 | 第103-105页 |
| ·c轴倾斜FBAR的电学阻抗表达式 | 第105-107页 |
| ·压电材料负载阻抗求解 | 第107-108页 |
| ·五层结构的c轴倾斜FBAR传感器阻抗特性实验 | 第108-111页 |
| ·本章小结 | 第111-112页 |
| 第五章 FBAR传感器的ANSYS有限元仿真 | 第112-130页 |
| ·有限元方法 | 第112-113页 |
| ·有限元方法概述 | 第112-113页 |
| ·有限元分析的基本步骤 | 第113页 |
| ·ANSYS有限元仿真 | 第113-116页 |
| ·ANSYS软件介绍 | 第113-115页 |
| ·ANSYS分析的基本过程 | 第115-116页 |
| ·FBAR传感器的ANSYS有限元仿真 | 第116-127页 |
| ·ANSYS压电分析 | 第116-118页 |
| ·c轴垂直FBAR传感器的ANSYS仿真 | 第118-123页 |
| ·c轴倾斜FBAR传感器的ANSYS仿真 | 第123-127页 |
| ·本章小结 | 第127-130页 |
| 第六章 总结与展望 | 第130-132页 |
| ·总结 | 第130-131页 |
| ·论文的不足及展望 | 第131-132页 |
| 致谢 | 第132-134页 |
| 参考文献 | 第134-144页 |
| 附录 攻读硕士期间发表的学术论文 | 第144页 |